[發明專利]用于噴濺裝置的基材支撐體

有效

• 申請號: 201880011700.7
• 申請日: 2018-02-07
• 公開（公告）號: CN110325663B
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 歐陽煦;潘業光
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50;H01J37/34;H01L21/673;H01J37/32;H01L21/687
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 徐鑫;項丹

1.一種噴濺裝置，其包括：

室；

布置在室內的靶；

轉鼓，所述轉鼓包括布置在室內的鼓框架；和

基材支撐體，所述基材支撐體包括連接到鼓框架的載具和用于裝納基材的裝置器，所述裝置器連接到載具的面朝靶的表面，

其中，基材支撐體的所有組件由一種或多種非含鋁且非磁性金屬材料構成。

2.如權利要求1所述的噴濺裝置，其中，載具還包括連接到載具的面朝靶的表面的夾具，用于將裝置器夾到載具上，以及其中，夾具基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。

3.如權利要求1所述的噴濺裝置，其中，至少載具的面朝靶的表面基本由不銹鋼316構成。

4.如權利要求1所述的噴濺裝置，其中，載具包括限定了載具的面朝靶的表面的板。

5.如權利要求4所述的噴濺裝置，其中，板是中空板。

6. 如權利要求4所述的噴濺裝置，其中，板基本由不含磁荷的不銹鋼316構成。

7.如權利要求1所述的噴濺裝置，其中，裝置器還包括底板和連接到底板的頂板，用于在它們之間夾住基材，以及

其中，頂板和底板基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。

8.如權利要求1所述的噴濺裝置，其中，裝置器還包括真空板，所述真空板包括多個通孔和布置在真空板的頂表面的一部分上的雙面粘合劑層，用于使其與基材粘附，以及

其中，真空板基本由非含鋁且非磁性金屬材料構成。

9.如權利要求1所述的噴濺裝置，其還包括連接到載具的面朝靶的表面的多個裝置器，至少一個裝置器用于裝納至少一個基材，以及其中，載具包括一個或多個夾具用于將裝置器夾到載具上。

10.如權利要求1所述的噴濺裝置，其中，至少載具的面朝靶的表面基本由選自下組的材料構成：銅合金和鈦合金。

11.如權利要求1-10中任一項所述的噴濺裝置，其中，至少載具的面朝靶的表面基本由20°C時的熱膨脹系數等于或小于21.6 ppm/oC的材料構成。

12.如權利要求1-10中任一項所述的噴濺裝置，其中，至少載具的面朝靶的表面基本由20°C時熱膨脹系數等于或小于18 ppm/oC的材料構成。

13.如權利要求1所述的噴濺裝置，其中，載具重量是100千克或更輕。

14.如權利要求1所述的噴濺裝置，其中，基材沒有與載具直接接觸。

15.一種噴濺方法，其包括：

將基材連接到基材支撐體，所述基材支撐體包括載具和用于裝納基材的裝置器，所述裝置器連接到載具的面朝靶的表面；

將載具連接到轉鼓，所述轉鼓包括鼓框架，所述鼓框架布置在噴濺裝置的室內，所述室包括布置在室內的靶；以及

用涂層涂覆基材；

其中，基材支撐體的所有組件由一種或多種非含鋁且非磁性金屬材料構成。

16.如權利要求15所述的噴濺方法，其中，所述噴濺方法是鼓式噴濺方法。

17.如權利要求15所述的噴濺方法，其中，所述噴濺方法是磁控噴濺方法。

18.如權利要求15-17中任一項所述的噴濺方法，其中，所述非含鋁且非磁性金屬材料包括20°C時等于或小于18 ppm/oC的熱膨脹系數。