[發明專利]標記在審
| 申請號： | 201880010773.4 | 申請日： | 2018-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN110382998A | 公開（公告）日： | 2019-10-25 |
| 發明（設計）人： | 川上満;福田康幸 | 申請（專利權）人： | 恩普樂股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00;G01B11/26;G01C15/06 |
| 代理公司： | 北京北翔知識產權代理有限公司 11285 | 代理人： | 侯婧;鐘守期 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 對角 給定距離 檢測位置 旋轉狀態 基板 檢測裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種標記，其特征在于，包括：
基板，其中
所述基板的一個表面上具有至少4個圓記號，
所述4個圓記號中，
其中的2個形成一對，位于所述表面上對角的位置，
另外2個形成一對，位于所述表面上對角的位置，
所述圓記號滿足以下條件(1)或(2)：
條件(1)：所述4個圓記號中的一個圓記號，在檢測到距給定檢測位置以給定距離定位的所述標記時，被檢測為在所述標記的任何旋轉狀態下大于其他圓記號；
條件(2)：所述一對中的一個圓記號和所述另一對中的一個圓記號具有相同的大小，并且在檢測到距給定檢測位置以給定距離定位的所述標記時，被檢測為在所述標記的任何旋轉狀態下大于其他圓記號。
2.根據權利要求1所述的標記，其中
所述4個圓記號滿足所述條件(1)，
在所述表面上，除所述一個圓記號之外，所述其他圓記號全都具有相同的大小。
3.根據權利要求1所述的標記，其中
所述4個圓記號滿足所述條件(2)，
在所述表面上，除所述一對中的一個圓記號和所述另一對中的一個圓記號之外，所述其他圓記號全都具有相同的大小。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的標記，其中，
所述4個圓記號是正圓記號。
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