[實用新型]一種太赫茲時域光譜儀及指甲檢測系統

有效

• 申請號: 201822279139.0
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209400413U
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發明（設計）人: 楊少壯;李辰
• 申請（專利權）人: 深圳市太赫茲科技創新研究院;雄安華訊方舟科技有限公司
• 主分類號: G01N21/3586
• 分類號: G01N21/3586;G01N21/3563
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 高星

一種太赫茲時域光譜儀及指甲檢測系統，太赫茲時域光譜儀包括：激光器、分束片、太赫茲輻射天線、第一拋物面鏡、樣品倉、第二拋物面鏡、光源傳輸模塊、太赫茲探測天線及分析模塊；分束片將激光光束按預設比例分為泵浦光和探測光；太赫茲輻射天線產生太赫茲波；第一拋物面鏡將太赫茲波進行第一次聚焦；樣品倉將第一次聚焦后的太赫茲波透過待檢測樣品；第二拋物面鏡對透過待檢測樣品的太赫茲波進行第二次聚焦；光源傳輸模塊對探測光進行多次反射和調節光學延遲時間；太赫茲探測天線在第二次聚焦后的太赫茲波和探測光的共同作用下，產生樣品電流信號；分析模塊對樣品電流信號進行處理、控制及采集得到待檢測樣品的結構參數和/或成分信息。

技術領域

本實用新型屬于太赫茲技術領域，尤其涉及一種太赫茲時域光譜儀及指甲檢測系統。

背景技術

隨著帶來工業技術的快速發展，技術人員通常利用輻射光線對物體的結構進行檢測，以得到所述物體的結構信息，并根據該物體的結構信息判斷系統的自身狀態，以實現對于系統狀態的實時監控；由于在實際應用過程中，技術人員無法直接從微觀層面觀察到物體的內部結構變化情況，或者物體的內部結構成分較為復雜，技術人員對于物體的觀察結果存在較大的誤差；因此利用輻射光線對于物體的結構進行物理檢測的方法具有檢測精度高、精細可靠等優點，物體的輻射光線檢測方法在各個工業技術領域中逐漸得到了廣泛的應用。

然而在對于物體進行輻射光線的物理檢測過程中，輻射光線在傳輸過程中容易受到外界噪聲的干擾，導致輻射光線在傳輸過程中出現頻率衰減以及信號失真等現象，且通過輻射光線獲取到的物體內部結構信息容易出現較大的誤差，檢測的精度和靈敏度都比較低；并且傳統技術方案利用輻射光線對于物體的成分進行檢測過程中，需要對于輻射光線進行多次信號轉換以及計算過程，操作過程繁瑣，也會增加檢測結果的系統誤差，并且通過輻射光線所獲取得到物體結構信息單一，難以滿足用戶對于物體的結構信息的綜合需求。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型實施例提供了一種太赫茲時域光譜儀及指甲檢測系統，旨在解決傳統的技術方案利用輻射光線對于物體的內部結構進行檢測時，檢測的精度較低，操作步驟繁瑣，耗時長，無法對物體的結構信息進行深入分析的問題。

本實用新型實施例第一方面提供了一種太赫茲時域光譜儀，包括：

激光器；

設置于所述激光器的輸出光路上，被配置為將所述激光光束按預設比例分為泵浦光和探測光的分束片；

設置于所述分束片的透射光路上，被配置為在所述泵浦光和偏置電壓的共同驅動下產生太赫茲波的太赫茲輻射天線；

設置于所述太赫茲輻射天線的輸出光路上，被配置為將所述太赫茲波進行第一次聚焦后輸出的第一拋物面鏡；

設置于所述第一拋物面鏡的反射光路上，被配置為使所述第一次聚焦后的太赫茲波透過待檢測樣品的樣品倉；

設置于所述樣品倉的透射光路上，被配置為對透過所述待檢測樣品的太赫茲波進行第二次聚焦后輸出的第二拋物面鏡；

設置于所述分束片的反射光路上，被配置為對所述探測光進行多次反射和調節光學延遲時間的光源傳輸模塊；

設置于所述第二拋物面鏡的透射光路以及所述光源傳輸模塊的反射光路上，被配置為在同時接收到所述第二次聚焦后的太赫茲波和所述探測光時，產生樣品電流信號的太赫茲探測天線；以及

與所述太赫茲輻射天線、所述太赫茲探測天線以及所述光源傳輸模塊連接，被配置為向所述太赫茲輻射天線輸出所述偏置電壓、對所述樣品電流信號進行處理、控制及采集后得到所述待檢測樣品的結構參數和/或成分信息的分析模塊。

在其中的一個實施例中，所述激光器為飛秒激光器。

在其中的一個實施例中，所述光源傳輸模塊包括：