[實(shí)用新型]一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822277220.5
• 申請(qǐng)日: 2018-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN209406081U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡毅志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海正帆科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B01F3/02
• 分類號(hào): B01F3/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本實(shí)用新型公開一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，主要包括PH3供應(yīng)裝置、H2供應(yīng)裝置、混氣管道、混氣緩沖儲(chǔ)存裝置和He吹制掃裝置，He吹制掃裝置與PH3供應(yīng)裝置相連接，PH3供應(yīng)裝置的末端和H2供應(yīng)裝置的末端連接至混氣管道的一端，混氣管道的另一端與混氣緩沖儲(chǔ)存裝置相連接，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的PH3/H2在線混合系統(tǒng)，PH3供應(yīng)裝置、H2供應(yīng)裝置供氣混合后，通過混氣管道進(jìn)行輸送，并在混氣緩沖儲(chǔ)存裝置中積聚，從而做到了PH3/H2混氣隨取隨用，簡(jiǎn)化混氣的采購(gòu)程序，縮短混合氣采購(gòu)周期，降低混合氣采購(gòu)成本、物流成本，此外，混氣能夠現(xiàn)場(chǎng)充裝，易操作，保證系統(tǒng)穩(wěn)定性，還可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求進(jìn)行PH3/H2混氣比例值設(shè)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其涉及一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)。

背景技術(shù)

磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的重要N型摻雜源，同時(shí)磷烷還用于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延GaP材料、離子注入工藝、MOCVD工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。在生產(chǎn)微電子器件和光電子器件的過程中，為制備有摻雜的半導(dǎo)體外延層，需要高純度混合氣的均勻沉積，這些氣體用氫或氬稀釋。目前半導(dǎo)體行業(yè)絕大部分廠家是從氣體公司購(gòu)買PH3/H2成品混氣，或購(gòu)買純PH3，再發(fā)運(yùn)到有混配能力的氣體公司，混配成PH3/H2后運(yùn)回使用，這兩種方式成本都比較高。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于以上所述，本實(shí)用新型提供一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有PH3/H2成品混氣使用成本較高的問題。

為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，包括PH3供應(yīng)裝置、H2供應(yīng)裝置、混氣管道、混氣緩沖儲(chǔ)存裝置和He吹制掃裝置，所述He吹制掃裝置與PH3供應(yīng)裝置相連接，所述PH3供應(yīng)裝置的末端和H2供應(yīng)裝置的末端連接至混氣管道的一端，所述混氣管道的另一端與混氣緩沖儲(chǔ)存裝置相連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方式，所述PH3供應(yīng)裝置上設(shè)置有PH3質(zhì)量流量計(jì)，且PH3質(zhì)量流量計(jì)后端依次連接有單向閥和第一氣動(dòng)膜閥。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方式，所述H2供應(yīng)裝置上設(shè)置有H2質(zhì)量流量計(jì)，且H2質(zhì)量流量計(jì)后端依次連接有單向閥和第二氣動(dòng)膜閥。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方式，所述混氣管道和混氣緩沖儲(chǔ)存裝置的連接部位處設(shè)置有第三氣動(dòng)膜閥。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方式，所述混氣緩沖儲(chǔ)存裝置上連接有純化器，所述純化器與混氣緩沖儲(chǔ)存裝置之間加裝有第四氣動(dòng)膜閥。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方式，所述混氣緩沖儲(chǔ)存裝置上還連接有分析儀，所述混氣緩沖儲(chǔ)存裝置與分析儀之間依次設(shè)置有安全閥、第五氣動(dòng)膜閥和針閥。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方式，所述混氣緩沖儲(chǔ)存裝置上設(shè)置有壓力表和預(yù)留出口。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方式，所述He吹制掃裝置與PH3供應(yīng)裝置的連接管路上設(shè)置有第一手動(dòng)膜閥。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方式，所述混氣管道的首端與所述混氣緩沖儲(chǔ)存裝置通過真空泵相連接，且所述混氣管道首端與真空泵連接的管路上設(shè)置有第二手動(dòng)膜閥，所述混氣緩沖儲(chǔ)存裝置與真空泵連接的管路上設(shè)置有第三手動(dòng)膜閥。

本實(shí)用新型的有益效果為：

本實(shí)用新型設(shè)計(jì)一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，PH3供應(yīng)裝置、H2供應(yīng)裝置供氣混合后，通過混氣管道進(jìn)行輸送，并在混氣緩沖儲(chǔ)存裝置中積聚，從而做到了PH3/H2混氣隨取隨用，簡(jiǎn)化混氣的采購(gòu)程序，縮短混合氣采購(gòu)周期，降低混合氣采購(gòu)成本、物流成本，此外，混氣能夠現(xiàn)場(chǎng)充裝，易操作，保證系統(tǒng)穩(wěn)定性，還可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求進(jìn)行PH3/H2混氣比例值設(shè)定。

附圖說明