[實用新型]一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822277220.5 | 申請日： | 2018-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN209406081U | 公開（公告）日： | 2019-09-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 胡毅志 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海正帆科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B01F3/02 | 分類號： | B01F3/02 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 供應(yīng)裝置 混氣 混氣管道 緩沖儲存裝置 在線混合系統(tǒng) 本實用新型 混合氣 掃裝置 吹制 采購 生產(chǎn)工藝要求 保證系統(tǒng) 末端連接 物流成本 充裝 供氣 積聚 | ||
1.一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，其特征在于，包括PH3供應(yīng)裝置、H2供應(yīng)裝置、混氣管道、混氣緩沖儲存裝置和He吹制掃裝置，所述He吹制掃裝置與PH3供應(yīng)裝置相連接，所述PH3供應(yīng)裝置的末端和H2供應(yīng)裝置的末端連接至混氣管道的一端，所述混氣管道的另一端與混氣緩沖儲存裝置相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，其特征在于，所述PH3供應(yīng)裝置上設(shè)置有PH3質(zhì)量流量計，且PH3質(zhì)量流量計后端依次連接有單向閥和第一氣動膜閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，其特征在于，所述H2供應(yīng)裝置上設(shè)置有H2質(zhì)量流量計，且H2質(zhì)量流量計后端依次連接有單向閥和第二氣動膜閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，其特征在于，所述混氣管道和混氣緩沖儲存裝置的連接部位處設(shè)置有第三氣動膜閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，其特征在于，所述混氣緩沖儲存裝置上連接有純化器，所述純化器與混氣緩沖儲存裝置之間加裝有第四氣動膜閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，其特征在于，所述混氣緩沖儲存裝置上還連接有分析儀，所述混氣緩沖儲存裝置與分析儀之間依次設(shè)置有安全閥、第五氣動膜閥和針閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，其特征在于，所述混氣緩沖儲存裝置上設(shè)置有壓力表和預(yù)留出口。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，其特征在于，所述He吹制掃裝置與PH3供應(yīng)裝置的連接管路上設(shè)置有第一手動膜閥。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PH3/H2在線混合系統(tǒng)，其特征在于，所述混氣管道的首端與所述混氣緩沖儲存裝置通過真空泵相連接，且所述混氣管道首端與真空泵連接的管路上設(shè)置有第二手動膜閥，所述混氣緩沖儲存裝置與真空泵連接的管路上設(shè)置有第三手動膜閥。
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