[實用新型]一種用于PCB內層板曝光的曝光機

有效

• 申請號: 201822254650.5
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209525558U
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 劉棟;張雷;李偉成
• 申請（專利權）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 陳松

本實用新型旨在提供一種用于PCB內層板曝光的曝光機，能夠確保PCB內層板正面和背面上曝光的圖形位置相對應，包括基板臺面和對準系統，位于基板臺面下方設有定位機構，包括光源、準直鏡頭、光闌，PCB內層板置于光闌的上方，光闌上設有至少三個透光孔，透光孔能夠確定一個圓，光束分別透過每個透光孔照射到PCB內層板的背面上留下光刻標記，光刻標記用于作為PCB內層板背面上的對位孔，光闌設置在位于基板臺面上的標記板的一端，標記板的另一端上設有與光闌上的透光孔相對應的標記點，用于實時監測光闌位置的變化以補償曝光系統與光刻標記的位置關系。

技術領域

本實用新型涉及數字直寫式曝光機領域，具體為一種用于PCB內層板曝光的曝光機。

背景技術

目前PCB行業對PCB內層板曝光時，普遍無可以用于對位的孔或者標記，PCB內層板需要分別對其正面和背面進行曝光，同時需要確保在PCB內層板正面和背面上的圖形的位置相對應，傳統結構的曝光內層板的裝置使用激光技術在PCB內層板的背面燒制標記，該裝置與曝光系統有一個固定的位置關系，這樣正面的圖形就與背面的標記建立了位置關系，曝光背面時對準系統抓取燒制的標記獲取相關位置數據后再曝光背面圖形，使得PCB內層板的正反兩面圖形能夠對齊。

傳統結構的曝光內層板的裝置，在曝光對PCB內層板的正面時，仍然無任何參照物，只憑借設備參數盲曝，對正面無任何監測，受外界不穩定因素影響，標記燒制裝置與曝光系統的位置關系發生變化，不再是系統設定的固定數值。這會導致正面圖形會與背面激光燒制的標記產生錯位，并且無規則變化。在該情況下，設備很難實現高精度內層PCB板的生產。

實用新型內容

本實用新型旨在提供一種用于PCB內層板曝光的曝光機旨在解決上述技術問題。

其技術方案是這樣的：一種用于PCB內層板曝光的曝光機，包括安裝在底座上的可移動的基板臺面和設置在所述基板臺面上的對準系統，PCB內層板正面朝上背面朝下置于所述基板臺面上，其特征在于，位于所述基板臺面下方設有定位機構，定位機構包括自下往上順序設置的光源、準直鏡頭、光闌，所述PCB內層板置于所述光闌的上方，從所述光源產生的光斑經過所述準直鏡頭折射為若干平行光束投射到所述光闌上，所述光闌上設有至少三個透光孔，所述透光孔能夠確定一個圓，光束分別透過每個透光孔照射到所述PCB內層板的背面上且在所述PCB內層板的背面上對應留下一個光刻標記，光刻標記用于作為PCB內層板背面上的對位孔，所述光闌設置在位于所述基板臺面上的標記板的一端，所述標記板的另一端上設有與所述光闌上的透光孔相對應的標記點，所述標記板設有標記點的一端伸出所述基板臺面設置。

進一步的，所述基板臺面通過多軸運動平臺安裝在所述底座上，所述多軸運動平臺能夠帶動PCB內層板在三維空間中運動，所述底座上設置有龍門，所述龍門上設有所述對準系統和曝光系統。

進一步的，所述對準系統包括安裝在龍門上的固定對準組件和移動對準組件，所述固定對準組件包括固定在所述龍門上的固定對準相機和照明光源，所述固定對準相機的鏡頭朝下設置，所述移動對準組件包括沿所述龍門設置的滑軌，所述滑軌上設置有能夠沿所述滑軌移動的移動對準相機，所述移動對準相機的鏡頭朝下設置。

進一步的，所述定位機構至少設有三個，定位機構沿基板臺面的長度方向的邊沿或者沿基板臺面的寬度方向的邊沿設置。

進一步的，所述透光孔設置有六個，六個所述透光孔分別設置在一個圓的圓周上，所述透光孔在圓周上間隔60度布置。

進一步的，在所述基板臺面的邊緣處沿所述基板臺面的長度方向和寬度方向分別設置有定位標尺，所述PCB內層板通過所述定位標尺定位置于所述基板臺面上，所述定位標尺上設有保護槽，標記板設有標記點的一端設置在所述保護槽內。

進一步的，多軸運動平臺包括y軸運動組件、x軸運動組件、z軸運動組件，X軸運動組件和y軸運動組件配合能夠使得基板臺面在平行于底座的平面內移動，z軸運動組件能夠使得基板臺面上的PCB內層板運動到曝光和對位的焦面。