[實用新型]一種用于PCB內(nèi)層板曝光的曝光機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822254650.5
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209525558U
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉棟;張雷;李偉成
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州源卓光電科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 陳松

1.一種用于PCB內(nèi)層板曝光的曝光機(jī)，包括安裝在底座上的可移動的基板臺面和設(shè)置在所述基板臺面上的對準(zhǔn)系統(tǒng)，PCB內(nèi)層板正面朝上背面朝下置于所述基板臺面上，其特征在于：位于所述基板臺面下方設(shè)有定位機(jī)構(gòu)，定位機(jī)構(gòu)包括自下往上順序設(shè)置的光源、準(zhǔn)直鏡頭、光闌，所述PCB內(nèi)層板置于所述光闌的上方，從所述光源產(chǎn)生的光斑經(jīng)過所述準(zhǔn)直鏡頭折射為若干平行光束投射到所述光闌上，所述光闌上設(shè)有至少三個透光孔，所述透光孔能夠確定一個圓，光束分別透過每個透光孔照射到所述PCB內(nèi)層板的背面上且在所述PCB內(nèi)層板的背面上對應(yīng)留下一個光刻標(biāo)記，光刻標(biāo)記用于作為PCB內(nèi)層板背面上的對位孔，所述光闌設(shè)置在位于所述基板臺面上的標(biāo)記板的一端，所述標(biāo)記板的另一端上設(shè)有與所述光闌上的透光孔相對應(yīng)的標(biāo)記點，所述標(biāo)記板設(shè)有標(biāo)記點的一端伸出所述基板臺面設(shè)置，所述對準(zhǔn)系統(tǒng)對所述標(biāo)記點拍照獲取標(biāo)記點的位置，用于實時監(jiān)測光闌位置的變化以補(bǔ)償曝光系統(tǒng)與光刻標(biāo)記的位置關(guān)系。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于PCB內(nèi)層板曝光的曝光機(jī)，其特征在于：位所述基板臺面通過多軸運動平臺安裝在所述底座上，所述多軸運動平臺能夠帶動PCB內(nèi)層板在三維空間中運動，所述底座上設(shè)置有龍門，所述龍門上設(shè)有所述對準(zhǔn)系統(tǒng)和曝光系統(tǒng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于PCB內(nèi)層板曝光的曝光機(jī)，其特征在于：所述對準(zhǔn)系統(tǒng)包括安裝在龍門上的固定對準(zhǔn)組件和移動對準(zhǔn)組件，所述固定對準(zhǔn)組件包括固定在所述龍門上的固定對準(zhǔn)相機(jī)和照明光源，所述固定對準(zhǔn)相機(jī)的鏡頭朝下設(shè)置，所述移動對準(zhǔn)組件包括沿所述龍門設(shè)置的滑軌，所述滑軌上設(shè)置有能夠沿所述滑軌移動的移動對準(zhǔn)相機(jī)，所述移動對準(zhǔn)相機(jī)的鏡頭朝下設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于PCB內(nèi)層板曝光的曝光機(jī)，其特征在于：所述定位機(jī)構(gòu)至少設(shè)有三個，定位機(jī)構(gòu)沿基板臺面的長度方向的邊沿或者沿基板臺面的寬度方向的邊沿設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于PCB內(nèi)層板曝光的曝光機(jī)，其特征在于：所述透光孔設(shè)置有六個，六個所述透光孔分別設(shè)置在一個圓的圓周上，所述透光孔在圓周上間隔60度布置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于PCB內(nèi)層板曝光的曝光機(jī)，其特征在于：在所述基板臺面的邊緣處沿所述基板臺面的長度方向和寬度方向分別設(shè)置有定位標(biāo)尺，所述PCB內(nèi)層板通過所述定位標(biāo)尺定位置于所述基板臺面上，所述定位標(biāo)尺上設(shè)有保護(hù)槽，標(biāo)記板設(shè)有標(biāo)記點的一端設(shè)置在所述保護(hù)槽內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于PCB內(nèi)層板曝光的曝光機(jī)，其特征在于：多軸運動平臺包括y軸運動組件、x軸運動組件、z軸運動組件，X軸運動組件和y軸運動組件配合能夠使得基板臺面在平行于底座的平面內(nèi)移動，z軸運動組件能夠使得基板臺面上的PCB內(nèi)層板運動到曝光和對位的焦面。