[實用新型]氮化爐抽真空系統有效
| 申請號: | 201822254567.8 | 申請日: | 2018-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN209412296U | 公開(公告)日: | 2019-09-20 |
| 發明(設計)人: | 王占營;宋廣林;王志永;王亞輝;王占軍;趙萬春 | 申請(專利權)人: | 河南諾蘭特新材科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C8/24 | 分類號: | C23C8/24 |
| 代理公司: | 鄭州金成知識產權事務所(普通合伙) 41121 | 代理人: | 郭增欣 |
| 地址: | 450041 河南省鄭州市上*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 連接管道 氮化爐 進氣口 旋片式真空泵 連通 抽真空系統 羅茨真空泵 排氣管道 真空管道 抽氣孔 出氣口 冷凝器 本實用新型 并聯 廢氣處理裝置 抽真空效率 密封性好 系統結構 波紋管 雙級泵 爐體 | ||
1.一種氮化爐抽真空系統,包括氮化爐(1),所述氮化爐(1)的爐體上設置有抽氣孔(2),其特征在于:所述抽氣孔(2)通過連接管道(3)連接冷凝器(4)、羅茨真空泵(5)和旋片式真空泵(6),所述冷凝器(4)的進氣口與所述抽氣孔(2)之間通過所述連接管道(3)連通,所述冷凝器(4)的出氣口連接的所述連接管道(3)連通兩條并聯的真空管道和排氣管道,所述真空管道連通所述羅茨真空泵(5)的進氣口,所述羅茨真空泵(5)的出氣口通過波紋管(7)和所述連接管道(3)連通所述旋片式真空泵(6)的進氣口,所述排氣管道連接廢氣處理裝置,所述旋片式真空泵(6)的出氣口通過所述連接管道(3)連接在所述排氣管道上。
2.根據權利要求1所述的氮化爐抽真空系統,其特征在于:所述抽氣孔(2)出口的所述連接管道(3)上設置有放氣閥(8)和真空表(9)。
3.根據權利要求1所述的氮化爐抽真空系統,其特征在于:所述冷凝器(4)的頂部設置冷卻水入口、底部設置冷卻水出口,所述冷凝器(4)的進氣口和出氣口連接的所述連接管道(3)上均設置有管道閥(10),所述排氣管道上也設置有所述管道閥(10)。
4.根據權利要求1所述的氮化爐抽真空系統,其特征在于:所述羅茨真空泵(5)和所述旋片式真空泵(6)的進氣口上端均設置有真空電磁閥(11),所述羅茨真空泵(5)和所述旋片式真空泵(6)均采用電動機帶動并通過聯軸器連接。
5.根據權利要求1所述的氮化爐抽真空系統,其特征在于:所述冷凝器(4)采用高分子復合材料制成。
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