[實用新型]樣品托

有效

• 申請號: 201822252410.1
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209307512U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 梅紅萍;李昂
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: C30B25/12
• 分類號: C30B25/12;H01J37/20;G01N23/22
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種樣品托，樣品托包括：第一單元，第一單元包括第一表面及與第一表面相對的第二表面，第一單元包括貫穿第一表面及第二表面的第一通孔；第一單元的傳遞方式包括水平傳遞；固定單元，固定單元位于第一單元的第一表面上，并與第一單元相連接，固定單元包括第二通孔，第二通孔與第一通孔相貫通；第二單元，第二單元包括樣品部、固定部及連接部；其中，樣品部用以承載樣品，固定部與所述固定單元相連接；第二單元的傳遞方式包括垂直傳遞。本實用新型通過樣品托可實現樣品在大型互聯真空系統中的傳遞操作，包括水平傳遞及垂直傳遞，保證樣品在超高真空互聯系統中的原位生長和原位多重表征測試，避免大氣下雜質污染等問題。

技術領域

本實用新型屬于真空設備領域，涉及一種樣品托。

背景技術

分子束外延(MBE)是新發展起來的在超高真空環境下制備高質量單晶薄膜的新技術，分子束外延生長可實現原子逐層沉積的單晶生長，制備人工調制的二維薄膜材料，通過精確控制膜層組分、摻雜濃度等手段獲得量子阱、超晶格、拓撲超導等量子新材料而受到越來越多的科學研究工作者的青睞。拓撲超導材料研究是量子計算和量子通訊的研究基礎。

角分辨光電子能譜(ARPES)是在超高真空環境下利用光電效應直接觀測固體材料的電子結構的方法，被譽為“一個可以看見電子結構的顯微鏡”，是觀察電子結構的最佳利器，可以在動量空間直觀獲得樣品表面的能帶結構。

掃描隧道顯微鏡(STM)因為具有原子級高分辨率，可以實時得到實空間樣品表面形貌和原子結構，且可對單原子進行成像，因而在表面分析領域獲得廣泛應用。

分子束外延/角分辨光電子能譜的集成系統(MBE/ARPES)由于其可以解決在材料生長、器件工藝環節、測試分析過程中由于在樣品轉移過程中導致的雜質污染等問題，以及可實現原位生長原位測試的獨特的優勢而應用越來越廣泛。配合掃描隧道譜，則可以得到表面電子結構信息，如電荷密度波、能隙結構等。所以在新材料研究中，使用包括超高真空掃描隧道顯微鏡(STM)在內的聯合系統，以進行樣品的原位生長和原位多重表征測試手段，越來越受到人們的重視。

目前，商業化的分子束外延/角分辨光電子能譜的集成系統(MBE/ARPES)多采用旗幟型樣品托，在水平方向上進行傳遞；而掃描隧道顯微鏡(STM)因液氦杜瓦和超導磁體設計的要求，描隧道顯微鏡樣品托采用豎直向下傳遞方式，同時保持樣品面朝下(磁場方向垂直于樣品表面)，因此，分子束外延/角分辨光電子能譜的集成系統(MBE/ARPES)與掃描隧道顯微鏡(STM)所使用的樣品托具有兼容性的問題。當分子束外延/角分辨光電子能譜的集成系統(MBE/ARPES)與低溫強磁場的掃描隧道顯微鏡(STM)進行互聯時，為保證樣品在超高真空互聯系統中的原位生長和原位多重表征測試，避免大氣下雜質污染等問題，須考慮傳遞方式的兼容性，實現樣品在大型互聯真空系統中的傳遞操作。

因此，設計一種新型的樣品托，使其既可以適用于分子束外延/角分辨光電子能譜的集成系統(MBE/ARPES)，同時又可適用于掃描隧道顯微鏡(STM)，以實現樣品在大型互聯真空系統中的傳遞操作，實屬必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種樣品托，用于解決現有技術中分子束外延/角分辨光電子能譜的集成系統(MBE/ARPES)與掃描隧道顯微鏡(STM)中的樣品托不兼容的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種樣品托，所述樣品托包括：

第一單元，所述第一單元包括第一表面及與所述第一表面相對的第二表面，所述第一單元包括貫穿所述第一表面及第二表面的第一通孔；所述第一單元的傳遞方式包括水平傳遞；

固定單元，所述固定單元位于所述第一單元的第一表面上，并與所述第一單元相連接，所述固定單元包括第二通孔，所述第二通孔與所述第一通孔相貫通；