[實用新型]樣品托有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822252410.1 | 申請日： | 2018-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN209307512U | 公開（公告）日： | 2019-08-27 |
| 發(fā)明（設計）人： | 梅紅萍;李昂 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 |
| 主分類號： | C30B25/12 | 分類號： | C30B25/12;H01J37/20;G01N23/22 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 第一表面 固定單元 樣品托 通孔 本實用新型 傳遞方式 第二表面 水平傳遞 固定部 傳遞 垂直 超高真空 多重表征 互聯(lián)系統(tǒng) 原位生長 雜質(zhì)污染 真空系統(tǒng) 承載 貫通 互聯(lián) 測試 貫穿 保證 | ||
1.一種樣品托，其特征在于，所述樣品托包括：
第一單元，所述第一單元包括第一表面及與所述第一表面相對的第二表面，所述第一單元包括貫穿所述第一表面及第二表面的第一通孔；所述第一單元的傳遞方式包括水平傳遞；
固定單元，所述固定單元位于所述第一單元的第一表面上，并與所述第一單元相連接，所述固定單元包括第二通孔，所述第二通孔與所述第一通孔相貫通；
第二單元，所述第二單元包括樣品部、固定部及連接部；其中，所述樣品部用以承載樣品，所述固定部與所述固定單元相連接；所述第二單元的傳遞方式包括垂直傳遞。
2.根據(jù)權利要求1所述的樣品托，其特征在于：所述固定單元包括位于頂部的蓋板、位于底部的限位固定塊及位于所述蓋板與所述限位固定塊之間的彈簧片。
3.根據(jù)權利要求2所述的樣品托，其特征在于：所述彈簧片包括鉭彈簧片。
4.根據(jù)權利要求1所述的樣品托，其特征在于：所述固定部與所述固定單元的連接方式包括旋轉(zhuǎn)式卡固連接、卡扣連接、螺紋連接中的一種或組合。
5.根據(jù)權利要求1所述的樣品托，其特征在于：所述固定單元與所述第一單元的連接方式包括旋轉(zhuǎn)式卡固連接、卡扣連接、螺紋連接、銷連接、鉚連接、焊連接中的一種或組合。
6.根據(jù)權利要求1所述的樣品托，其特征在于：所述連接部的中心與所述第一通孔及所述第二通孔的中心相重合；所述連接部的端面位于所述第二通孔及所述第一通孔中的一種或組合。
7.根據(jù)權利要求1所述的樣品托，其特征在于：所述樣品部凸出于所述第二通孔。
8.根據(jù)權利要求1所述的樣品托，其特征在于：所述樣品托的傳遞方式包括水平傳遞及垂直傳遞中的一種或組合。
9.根據(jù)權利要求1所述的樣品托，其特征在于：所述樣品托應用的溫度范圍包括20℃～1000℃。
10.根據(jù)權利要求1～9中任一所述的樣品托，其特征在于：所述樣品托包括應用于分子束外延、角分辨光電子能譜及掃描隧道顯微鏡中的一種或組合中的樣品托。
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