[實用新型]一種薄膜電阻測試裝置有效
| 申請號： | 201822251318.3 | 申請日： | 2018-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN209542813U | 公開（公告）日： | 2019-10-25 |
| 發明（設計）人： | 董學忠;方偉峰;文娟·劉·麥蒂斯 | 申請（專利權）人： | 微宏動力系統（湖州）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/389 | 分類號： | G01R31/389 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測試槽 絕緣柱 薄膜電阻 測試過程 測試裝置 電極 測試腔 絕緣座 下電極 底面 嵌設 本實用新型 環形分布 開口向上 快速測試 液體環境 液體外溢 儲液槽 外周面 緩沖 側壁 共軸 液槽 薄膜 配合 | ||
1.一種薄膜電阻測試裝置，包括絕緣柱(10)和絕緣座(20)，所述絕緣柱(10)底面嵌設上電極(102)，所述絕緣座(20)設有開口向上的測試槽(201)，所述測試槽(201)底面嵌設下電極(202)，所述絕緣柱(10)和測試槽(201)共軸配合使待測薄膜(30)置于上電極(102)和下電極(202)之間，其特征在于：所述測試槽(201)的側壁設有至少一個環形分布的第一儲液槽(204)和/或所述絕緣柱(10)外周面設有液槽(104)。
2.根據權利要求1所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述第一儲液槽(204)包括一個第一儲液槽體(204a)且第一儲液槽體(204a)沿測試槽(201)的側壁環繞后首尾相接或者錯開。
3.根據權利要求1所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述第一儲液槽(204)包括多個第一儲液槽體(204a)，所述第一儲液槽體(204a)之間互相隔開或者通過第一連通結構(204b)互相連通。
4.根據權利要求1所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述測試槽(201)的側壁至少設有一個豎向的第一凹槽(206)。
5.根據權利要求4所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述第一凹槽(206)包括導通測試槽(201)底面至頂面的槽，導通測試槽(201)底面至第一儲液槽(204)的槽，或導通第一儲液槽(204)至測試槽(201)頂面的槽中的至少一種。
6.根據權利要求1所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述液槽(104)包括第二儲液槽(106)和/或第二凹槽(108)。
7.根據權利要求6所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述第二儲液槽(106)呈環形分布在絕緣柱(10)外周面，所述第二凹槽(108)豎向設置在絕緣柱(10)外周面。
8.根據權利要求6所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述第二儲液槽(106)包括一個第二儲液槽體(106a)且第二儲液槽體(106a)沿絕緣柱(10)外周面環繞后首尾相接或者錯開。
9.根據權利要求6所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述第二儲液槽(106)包括多個第二儲液槽體(106a)，所述第二儲液槽體(106a)之間互相隔開或者通過第二連通結構(106b)互相連通。
10.根據權利要求6所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述第二凹槽(108)包括導通絕緣柱(10)底面至頂面的槽，導通絕緣柱(10)底面至第二儲液槽(106)的槽，或導通第二儲液槽(106)至絕緣柱(10)頂面的槽中的至少一種。
11.根據權利要求1所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述上電極(102)下底面凸出絕緣柱(10)底面，和/或所述下電極(202)上底面凸出測試槽(201)底面。
12.根據權利要求1所述的薄膜電阻測試裝置，其特征在于：所述上電極(102)側壁與絕緣柱(10)之間設有密封結構(40)；以及下電極(202)側壁與絕緣座(20)之間設有密封結構(40)。
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