[實用新型]一種用于晶圓的自動分離機

有效

• 申請號: 201822248733.3
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209150062U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 鄧鵬
• 申請（專利權）人: 樂山嘉洋科技發展有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/78
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 鄧小兵

1.一種用于晶圓的自動分離機，包括設有旋轉臺（1）的工作臺面（2），其特征在于：所述工作臺面（2）上分設下墊片上料工位（3）、墊片噴液工位（4）、晶圓上料工位（5）、晶圓噴液工位（6）、上墊片上料工位（7）以及碾壓工位（8），于所述旋轉臺（1）上周向均布至少6個承片盤（10），承片盤（10）隨旋轉臺（1）轉動并依次通過下墊片上料工位（3）、墊片噴液工位（4）、晶圓上料工位（5）、晶圓噴液工位（6）、上墊片上料工位（7）以及碾壓工位（8）。

2.根據權利要求1所述的一種用于晶圓的自動分離機，其特征在于：所述下墊片上料工位（3）和上墊片上料工位（7）均由移動氣缸（11）、真空吸附器（12）以及裝片盒（13）組成，裝片盒（13）設于工作臺面（2）上，移動氣缸（11）通過支撐件（14）設于工作臺面（2）上并帶動真空吸附器（12）移動。

3.根據權利要求1所述的一種用于晶圓的自動分離機，其特征在于：所述墊片噴液工位（4）和晶圓噴液工位（6）上均設有噴嘴（15），噴嘴（15）上設噴液電磁閥（16），噴嘴（15）通過連接管（17）接于儲液器。

4.根據權利要求1所述的一種用于晶圓的自動分離機，其特征在于：所述晶圓上料工位（5）包括上料舟（18）和上料機械手（19），上料舟（18）設于工作臺面（2）上，上料機械手（19）通過固定架（20）設于工作臺面（2）上。

5.根據權利要求1所述的一種用于晶圓的自動分離機，其特征在于：所述碾壓工位（8）包括碾壓臺（21）和絕緣棒（22），碾壓臺（21）上設供絕緣棒（22）移動的滑槽（23），工作臺面（2）上設支架（24），碾壓臺（21）轉動接于支架（24）上，支架（24）上設控制碾壓臺（21）轉動和絕緣棒（22）移動的驅動機構。

6.根據權利要求1所述的一種用于晶圓的自動分離機，其特征在于：在所述工作臺面（2）上設下料工位（9），承片盤（10）隨旋轉臺（1）轉動通過碾壓工位（8）后再通過下料工位（9），下料工位（9）包括下料舟（25）和下料機械手（26），下料舟（25）設于工作臺面（2）上，下料機械手（26）通過固定架（20）設于工作臺面（2）上。