[實用新型]一種EUV用抽風裝置及具有其的平板制程系統

有效

• 申請號: 201822248340.2
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209182653U
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 蔣新;竇福存;田丹女;陳國才
• 申請（專利權）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B08B15/00
• 代理公司: 蘇州根號專利代理事務所(普通合伙) 32276
• 代理人: 項麗

本實用新型涉及一種EUV用抽風裝置及具有其的平板制程系統，其中，待加工的平板經傳動輥輸送至EUV的下方進行光刻處理，所述傳動輥封裝設置在長方體狀的盒體中，所述長方體狀的盒體的上部對應EUV開有通槽，EUV的下部安設在所述通槽中，所述盒體內通過隔板間隔地設置成多個工作區，在每個工作區中位于所述盒體底部開設有至少一個抽風口，每一抽風口再分別通過抽風閥接入集氣裝置，用于抽送排放所述盒體中的廢氣本實用新型其能夠確保EUV在工作時的臭氧完全回收，提高廠區的工作舒適性和安全性。

技術領域

本實用新型涉及平板加工設備技術領域，具體涉及一種EUV用抽風裝置及具有其的平板制程系統。

背景技術

極紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography），常稱作EUV光刻，它以波長為10-14納米的極紫外光作為光源的光刻技術。EUV是使用極紫外波長的下一代光刻技術，需要通過通電激發紫外線管的K極然后放射出紫外線，在此過程中會形成大量的臭氧，導致廠區中具有刺鼻難聞的氣味，且在此情況下長期工作對身體的危險也很大。目前，多有在EUV的外側設置抽風裝置，對臭氧進行抽吸然后集中排放，但是還是會存在臭氧溢散情況的發生。

實用新型內容

本實用新型目的是要提供一種EUV用抽風裝置及具有其的平板制程系統，其能夠確保EUV在工作時的臭氧完全回收，提高廠區的工作舒適性和安全性。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

本實用新型提供了一種EUV用抽風裝置，待加工的平板經傳動輥輸送至EUV的下方進行光刻處理，所述傳動輥封裝設置在長方體狀的盒體中，所述長方體狀的盒體的上部對應EUV開有通槽，EUV的下部安設在所述通槽中，所述盒體內通過隔板間隔地設置成多個工作區，在每個工作區中位于所述盒體底部開設有至少一個抽風口，每一抽風口再分別通過抽風閥接入集氣裝置，用于抽送排放所述盒體中的廢氣。

對于上述技術方案，申請人還有進一步的優化措施。

進一步地，所述盒體通過兩塊隔板將盒體內腔體分割三個工作區，包括前置區、中間加工區和后置區，所述中間加工區對應的盒體底部對應設置有至少兩個與集氣裝置相連的抽風口。

更進一步地，兩塊隔板平行于所述傳動輥豎直設置在盒體內，且兩塊隔板分別設置所述通槽的兩側。

進一步地，集氣裝置包括出氣管，出氣管上開設有若干個進氣口，每一抽風口對應設置有一個第一抽風閥，每一抽風口分別與一第一抽風閥相連，每一第一抽風閥再分別與一進氣口相連，在出氣管的出氣端連接有第二抽風閥。

進一步地，所述第二抽風閥的抽風風量至少為所述第一抽風閥的抽風風量的兩倍。

特別地，本實用新型提供了一種平板制程系統，其包括EUV，EUV處設置有如上所述的抽風裝置。

由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：

本實用新型的EUV用抽風裝置，通過盒體包裹EUV的下部，能夠防止臭氧溢散，再在盒體內分區域地設置抽風口，進而保證臭氧能夠被完全地抽送排放，而采用這一EUV用抽風裝置的平板制程系統，能夠保證廠區工作環境的良好，且提高了工人工作的安全性。

附圖說明

后文將參照附圖以示例性而非限制性的方式詳細描述本實用新型的一些具體實施例。附圖中相同的附圖標記標示了相同或類似的部件或部分。本領域技術人員應該理解，這些附圖未必是按比例繪制的。附圖中：

圖1是根據本實用新型一個實施例的EUV用抽風裝置的結構示意圖；

圖2是圖1所示EUV用抽風裝置中盒體內部的結構示意圖；

圖3是根據本實用新型一個實施例的EUV用抽風裝置中的集氣裝置的結構示意圖。