[實用新型]一種EUV用抽風(fēng)裝置及具有其的平板制程系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822248340.2
• 申請日: 2018-12-29
• 公開（公告）號: CN209182653U
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔣新;竇福存;田丹女;陳國才
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B08B15/00
• 代理公司: 蘇州根號專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32276
• 代理人: 項麗

1.一種EUV用抽風(fēng)裝置，待加工的平板經(jīng)傳動輥輸送至EUV的下方進行光刻處理，所述傳動輥封裝設(shè)置在長方體狀的盒體中，所述長方體狀的盒體的上部對應(yīng)EUV開有通槽，EUV的下部安設(shè)在所述通槽中，其特征在于，所述盒體內(nèi)通過隔板間隔地設(shè)置成多個工作區(qū)，在每個工作區(qū)中位于所述盒體底部開設(shè)有至少一個抽風(fēng)口，每一抽風(fēng)口再分別通過抽風(fēng)閥接入集氣裝置，用于抽送排放所述盒體中的廢氣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的EUV用抽風(fēng)裝置，其特征在于，所述盒體通過兩塊隔板將盒體內(nèi)腔體分割三個工作區(qū)，包括前置區(qū)、中間加工區(qū)和后置區(qū)，所述中間加工區(qū)對應(yīng)的盒體底部對應(yīng)設(shè)置有至少兩個與集氣裝置相連的抽風(fēng)口。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的EUV用抽風(fēng)裝置，其特征在于，兩塊隔板平行于所述傳動輥豎直設(shè)置在盒體內(nèi)，且兩塊隔板分別設(shè)置所述通槽的兩側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的EUV用抽風(fēng)裝置，其特征在于，集氣裝置包括出氣管，出氣管上開設(shè)有若干個進氣口，每一抽風(fēng)口對應(yīng)設(shè)置有一個第一抽風(fēng)閥，每一抽風(fēng)口分別與一第一抽風(fēng)閥相連，每一第一抽風(fēng)閥再分別與一進氣口相連，在出氣管的出氣端連接有第二抽風(fēng)閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的EUV用抽風(fēng)裝置，其特征在于，所述第二抽風(fēng)閥的抽風(fēng)風(fēng)量至少為所述第一抽風(fēng)閥的抽風(fēng)風(fēng)量的兩倍。

6.一種平板制程系統(tǒng)，其特征在于，包括EUV，EUV處設(shè)置有如權(quán)利要求1至5中任一項所述的抽風(fēng)裝置。