[實用新型]一種小弧源靶材快速更換裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822247089.8
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN209352971U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊元才;褚景豫;錢鵬亮;熊凱;王慧峰
• 申請（專利權(quán)）人: 上海福宜真空設(shè)備有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種小弧源靶材快速更換裝置，其特征在于，包括小弧源靶材裝置、彈性夾具、轉(zhuǎn)動座、固定軸、圓導(dǎo)軌、滑動塊、定位銷、安裝法蘭；在所述的小弧源靶材裝置的圓周的一側(cè)，在安裝法蘭上設(shè)置若干個彈性夾具；所述的小弧源靶材裝置設(shè)置在所述的安裝法蘭上；在所述的小弧源靶材裝置的一側(cè)固定所述的轉(zhuǎn)動座；在所述的轉(zhuǎn)動座的兩側(cè)設(shè)置一段弧形凹槽，在弧形凹槽內(nèi)設(shè)置定位銷；所述的定位銷固定在所述的滑動塊上；在滑動塊與轉(zhuǎn)動座通過固定軸固定；在所述的滑動塊的中間穿入圓導(dǎo)軌；所述的圓導(dǎo)軌固定在安裝法蘭上。

2.如權(quán)利要求1所述的一種小弧源靶材快速更換裝置，其特征在于，所述的彈性夾具還包括手持螺母、固定柱、彈簧、夾板、套柱；在固定柱的下部設(shè)置第一螺紋，與所述的安裝法蘭螺紋連接固定；固定柱嵌入套柱之中；所述的固定柱上設(shè)置第一臺階與設(shè)置在套柱上的圓孔相抵住；在固定柱的上端設(shè)置第二臺階，在第一臺階、第二臺階與套柱之間放置彈簧，在套柱的上部設(shè)置第二螺紋；與手持螺母固定連接，在手持螺母的下方設(shè)置夾板；夾板的下方設(shè)置第三臺階；第三臺階與套柱為一體結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求1所述的一種小弧源靶材快速更換裝置，其特征在于，在所述的圓導(dǎo)軌上設(shè)置阻擋塊。

4.如權(quán)利要求1所述的一種小弧源靶材快速更換裝置，其特征在于，所述的弧形凹槽的角度小于等于90°。

5.如權(quán)利要求1所述的一種小弧源靶材快速更換裝置，其特征在于，所述的小弧源靶材裝置的外殼的外圓上設(shè)置一凹槽，用于卡住夾板。