[實用新型]一種小弧源靶材快速更換裝置

有效

• 申請號: 201822247089.8
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN209352971U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 楊元才;褚景豫;錢鵬亮;熊凱;王慧峰
• 申請（專利權）人: 上海福宜真空設備有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種小弧源靶材快速更換裝置，在所述的小弧源靶材裝置的圓周的一側，在所述的安裝法蘭上設置若干個彈性夾具；所述的小弧源靶材裝置設置在所述的安裝法蘭上；在所述的小弧源靶材裝置的一側固定所述的轉動座；在所述的轉動座的兩側設置一段弧形凹槽，在弧形凹槽內設置定位銷；所述的定位銷固定在所述的滑動塊上；在滑動塊與轉動座通過固定軸固定；在所述的滑動塊的中間穿入圓導軌；所述的圓導軌固定在安裝法蘭上；技術效果在于，小弧源靶材裝置能夠快速地進行安裝，杜絕了由于小弧源靶材會因為多次的緊固拆卸，造成小弧源固定法蘭螺紋孔磨損的問題，延長了零部件的使用壽命。同時，用固定軸將小弧源靶材與安裝法蘭連接在一起，換靶時只需將靶材等主體組件拉出，大大簡化了換靶操作，減少了所需時間。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜裝置，尤其涉及一種小弧源靶材快速更換裝置。

背景技術

在現有的小弧源靶材的固定裝置方面，都是采用螺絲固定方式進行固定，按照現有的技術進行固定的話，在小弧源靶材的更換的時候，沒有辦法進行快速的更換，在現有的技術中，如果經常采用拆裝螺栓的方式進行安裝的話，小弧源靶材會因為多次的緊固螺栓，造成小弧源固定法蘭上螺紋孔的磨損，沒有辦法進行緊固，影響裝置使用壽命。另外由于更換靶材前整體拆卸小弧源，會耗費很長時間，工作效率較低。

實用新型內容

本實用新型的目的是根據上述現有技術的不足之處，本實用新型目的實現一種小弧源靶材快速更換裝置，其特征在于，包括小弧源靶材裝置、彈性夾具、轉動座、固定軸、圓導軌、滑動塊、定位銷、安裝法蘭；在所述的小弧源靶材裝置的圓周的一側，在所述的安裝法蘭上設置若干個彈性夾具；所述的小弧源靶材裝置設置在所述的安裝法蘭上；在所述的小弧源靶材裝置的一側固定所述的轉動座；在所述的轉動座的兩側設置一段弧形凹槽，在弧形凹槽內設置定位銷；所述的定位銷固定在所述的滑動塊上；在滑動塊與轉動座通過固定軸固定；在所述的滑動塊的中間穿入圓導軌；所述的圓導軌固定在安裝法蘭上。

進一步，所述的彈性夾具還包括手持螺母、固定柱、彈簧、夾板、套柱；在固定柱的下部設置第一螺紋，與所述的安裝法蘭螺紋連接固定；固定柱嵌入套柱之中；所述的固定柱上設置第一臺階與設置在套柱上的圓孔相抵住；在固定柱的上端設置第二臺階，在第一臺階、第二臺階與套柱之間放置彈簧，在套柱的上部設置第二螺紋；與手持螺母固定連接，在手持螺母的下方設置夾板；夾板的下方設置第三臺階；第三臺階與套柱為一體結構。

進一步，在所述的圓導軌上設置阻擋塊。

進一步，所述的弧形凹槽的角度小于等于90°。

進一步，所述的小弧源靶材裝置的外殼的外圓上設置一凹槽，用于卡住夾板。

本實用新型裝置的技術效果在于，利用了彈性夾具、轉動座、固定軸、圓導軌、滑動塊、定位銷、安裝法蘭等部件，將小弧源靶材裝置能夠快速地進行安裝，杜絕了由于小弧源靶材會因為多次的緊固拆卸，造成小弧源固定法蘭螺紋孔磨損的問題，延長了零部件的使用壽命。同時，用固定軸將小弧源靶材與安裝法蘭連接在一起，換靶時只需將靶材等主體組件拉出，大大簡化了換靶操作，減少了所需時間。

附圖說明

圖1是本實用新型的在主視方向的立體示意圖；

圖2是本實用新型的彈性夾具的示意圖；

圖3是本實用新型的常閉狀態下的主視圖；

圖4是本實用新型的常閉狀態下的左視圖；

圖5是本實用新型的開啟狀態下的示意圖。

具體實施方式