[實(shí)用新型]管路去氣泡裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822241564.0
• 申請(qǐng)日: 2018-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN209216934U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃景山;張弢;蔣德念
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種管路去氣泡裝置，其特征在于，包含：

一管路，該管路用以輸送一液體，該液體中帶有一氣體；

一去泡器，該去泡器為一容器；

一真空泵，該真空泵與該去泡器連接；

該去泡器連接在該管路中。

2.如權(quán)利要求1所述的管路去氣泡裝置，其特征在于，該液體包含過氧化氫。

3.如權(quán)利要求1或2所述的管路去氣泡裝置，其特征在于，還包含一鼓泡器，該鼓泡器鼓動(dòng)混合該液體。

4.如權(quán)利要求3所述的管路去氣泡裝置，其特征在于，該鼓泡器連接一氮?dú)猓摰獨(dú)夤膭?dòng)混合該液體。

5.如權(quán)利要求1或2所述的管路去氣泡裝置，其特征在于，還包含一氣動(dòng)隔膜泵，該氣動(dòng)隔膜泵與該管路相連，用以將該液體輸送到噴灑位置。

6.如權(quán)利要求1或2所述的管路去氣泡裝置，其特征在于，還包含一閥門一，該閥門一連接在該去泡器和該真空泵之間。

7.如權(quán)利要求5所述的管路去氣泡裝置，其特征在于，該氣動(dòng)隔膜泵包含一開關(guān)控制電路一。

8.如權(quán)利要求6所述的管路去氣泡裝置，其特征在于，該閥門一包含一開關(guān)控制電路二。

9.如權(quán)利要求8所述的管路去氣泡裝置，其特征在于，還包含一氣動(dòng)隔膜泵，該氣動(dòng)隔膜泵包含一開關(guān)控制電路一，該開關(guān)控制電路一和該開關(guān)控制電路二之間電路連接。

10.如權(quán)利要求9所述的管路去氣泡裝置，其特征在于，還包含一選擇開關(guān)，該真空泵包含一電機(jī)一和一開關(guān)控制電路三，該氣動(dòng)隔膜泵包含一電機(jī)二，該閥門一包含一電磁鐵一，該開關(guān)控制電路一包含一線圈一和一常開觸點(diǎn)一，該開關(guān)控制電路二包含一線圈二和一常開觸點(diǎn)二，該開關(guān)控制電路三包含一線圈三和一常開觸點(diǎn)三，該選擇開關(guān)、該線圈一、該線圈二和該線圈三串聯(lián)連接至控制電源兩端，該常開觸點(diǎn)一連接該電機(jī)二，該常開觸點(diǎn)二連接該電磁鐵一，該常開觸點(diǎn)三連接該電機(jī)一。