[實用新型]一種固晶機的加工平臺有效
| 申請號: | 201822239792.4 | 申請日: | 2018-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN209249433U | 公開(公告)日: | 2019-08-13 |
| 發明(設計)人: | 胡溢文 | 申請(專利權)人: | 蘇州工業園區客臨和鑫電器有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 蘇州銘浩知識產權代理事務所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 朱斌兵 |
| 地址: | 215000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 鐵板 電磁鐵 頂升氣缸 加工平臺 旋轉氣缸 固晶機 旋轉板 承載 基板 輔助支撐組件 本實用新型 上端 真空吸附孔 加工效率 生產加工 長產品 可滑動 可轉動 上表面 固晶 | ||
1.一種固晶機的加工平臺,其特征在于:包括可滑動設置在固晶機上的基板以及頂升氣缸、電磁鐵、承載鐵板、輔助支撐組件、旋轉氣缸和旋轉板;所述基板上設有多個頂升氣缸,頂升氣缸的上端設有電磁鐵,電磁鐵的上端與承載鐵板相連;所述承載鐵板與基板之間還設有輔助支撐組件;所述承載鐵板的中部設有旋轉氣缸,旋轉氣缸上設有可轉動的旋轉板,旋轉板的上表面個真空吸附孔。
2.根據權利要求1所述的固晶機的加工平臺,其特征在于:所述基板通過設置在其底部左右兩側的滑軌組件可滑動的設置在固晶機的加工臺面上,滑軌組件包括兩個對稱設置的滑軌。
3.根據權利要求1所述的固晶機的加工平臺,其特征在于:所述真空吸附孔包括豎向分布的兩列,每列真空吸附孔的數量為七個。
4.根據權利要求1所述的固晶機的加工平臺,其特征在于:所述輔助支撐組件的數量為兩個,且上述輔助支撐組件包括支撐管、可在支撐管內上下移動的導向桿,導向桿的圓周方向上設有多個擋塊。
5.根據權利要求4所述的固晶機的加工平臺,其特征在于:所述導向桿的上端設有緊固電磁鐵,且緊固電磁鐵與承載鐵板相連。
6.根據權利要求1所述的固晶機的加工平臺,其特征在于:
所述承載鐵板的長度為160mm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





