[實(shí)用新型]一種固晶機(jī)的加工平臺(tái)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201822239792.4 | 申請(qǐng)日: | 2018-12-28 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209249433U | 公開(公告)日: | 2019-08-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 胡溢文 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州工業(yè)園區(qū)客臨和鑫電器有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 蘇州銘浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 朱斌兵 |
| 地址: | 215000 江蘇*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 鐵板 電磁鐵 頂升氣缸 加工平臺(tái) 旋轉(zhuǎn)氣缸 固晶機(jī) 旋轉(zhuǎn)板 承載 基板 輔助支撐組件 本實(shí)用新型 上端 真空吸附孔 加工效率 生產(chǎn)加工 長(zhǎng)產(chǎn)品 可滑動(dòng) 可轉(zhuǎn)動(dòng) 上表面 固晶 | ||
本實(shí)用新型涉及一種固晶機(jī)的加工平臺(tái),包括可滑動(dòng)設(shè)置在固晶機(jī)上的基板以及頂升氣缸、電磁鐵、承載鐵板、輔助支撐組件、旋轉(zhuǎn)氣缸和旋轉(zhuǎn)板;所述基板上設(shè)有多個(gè)頂升氣缸,頂升氣缸的上端設(shè)有電磁鐵,電磁鐵的上端與承載鐵板相連;所述承載鐵板與基板之間還設(shè)有輔助支撐組件;所述承載鐵板的中部設(shè)有旋轉(zhuǎn)氣缸,旋轉(zhuǎn)氣缸上設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)板,旋轉(zhuǎn)板的上表面?zhèn)€真空吸附孔,本實(shí)用新型的的固晶機(jī)的加工平臺(tái),其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,不但能滿足160mm長(zhǎng)度產(chǎn)品的作業(yè),也能能夠滿足產(chǎn)品長(zhǎng)度在160mm?300mm長(zhǎng)產(chǎn)品的作業(yè),降低了設(shè)備的投入成本,加工效率高,滿足了企業(yè)的生產(chǎn)加工需求。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及固晶機(jī)設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種固晶機(jī)的加工平臺(tái)。
背景技術(shù)
固晶機(jī)主要應(yīng)用在各種芯片的貼裝設(shè)備中,用于將晶片粘貼到基板上,但是目前的一些固晶機(jī)的加工平臺(tái)只可正常加工標(biāo)準(zhǔn)行程為160mm以內(nèi)的晶片產(chǎn)品,工作時(shí)的行程通過(guò)滑軌帶動(dòng)用于加載產(chǎn)品的治具進(jìn)行滑動(dòng)來(lái)對(duì)其進(jìn)行固晶操作的;如果需要生產(chǎn)超過(guò)160mm行程產(chǎn)品的話,就需要用到另外行程長(zhǎng)度的固晶機(jī),不但導(dǎo)致投入的設(shè)備成本提高了,同時(shí)操作也不便,給企業(yè)實(shí)際的生產(chǎn)加工帶來(lái)了諸多的不便。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,能滿足不同尺寸長(zhǎng)度晶片加工的固晶機(jī)的加工平臺(tái)。
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種固晶機(jī)的加工平臺(tái),包括可滑動(dòng)設(shè)置在固晶機(jī)上的基板以及頂升氣缸、電磁鐵、承載鐵板、輔助支撐組件、旋轉(zhuǎn)氣缸和旋轉(zhuǎn)板;所述基板上設(shè)有多個(gè)頂升氣缸,頂升氣缸的上端設(shè)有電磁鐵,電磁鐵的上端與承載鐵板相連;所述承載鐵板與基板之間還設(shè)有輔助支撐組件;所述承載鐵板的中部設(shè)有旋轉(zhuǎn)氣缸,旋轉(zhuǎn)氣缸上設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)板,旋轉(zhuǎn)板的上表面?zhèn)€真空吸附孔。
優(yōu)選的,所述基板通過(guò)設(shè)置在其底部左右兩側(cè)的滑軌組件可滑動(dòng)的設(shè)置在固晶機(jī)的加工臺(tái)面上,滑軌組件包括兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的滑軌。
優(yōu)選的,所述真空吸附孔包括豎向分布的兩列,每列真空吸附孔的數(shù)量為七個(gè)。
優(yōu)選的,所述輔助支撐組件的數(shù)量為兩個(gè),且上述輔助支撐組件包括支撐管、可在支撐管內(nèi)上下移動(dòng)的導(dǎo)向桿,導(dǎo)向桿的圓周方向上設(shè)有多個(gè)擋塊。
優(yōu)選的,所述導(dǎo)向桿的上端設(shè)有緊固電磁鐵,且緊固電磁鐵與承載鐵板相連。
優(yōu)選的,所述承載鐵板的長(zhǎng)度為160mm。
由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用,本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
本實(shí)用新型方案的的固晶機(jī)的加工平臺(tái),其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,不但能滿足160mm長(zhǎng)度產(chǎn)品的作業(yè),也能能夠滿足產(chǎn)品長(zhǎng)度在160mm-300mm長(zhǎng)產(chǎn)品的作業(yè),降低了設(shè)備的投入成本,加工效率高,滿足了企業(yè)的生產(chǎn)加工需求。
附圖說(shuō)明
下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說(shuō)明:
附圖1為本實(shí)用新型的主視圖;
附圖2為本實(shí)用新型的俯視圖;
其中:1、基板;2、頂升氣缸;3、電磁鐵;4、承載鐵板;5、;輔助支撐組件;6、旋轉(zhuǎn)氣缸;7、旋轉(zhuǎn)板;8、滑軌;9、緊固電磁鐵;50、支撐管;51、導(dǎo)向桿;52、擋塊;70、真空吸附孔。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





