[實用新型]用于下降法晶體生長的承托機構有效
| 申請號: | 201822237525.3 | 申請日: | 2018-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN209276670U | 公開(公告)日: | 2019-08-20 |
| 發明(設計)人: | 魏建德;方聲浩;佘建軍;葉寧;張志誠 | 申請(專利權)人: | 廈門中爍光電科技有限公司;中國電子科技集團公司第二十六研究所 |
| 主分類號: | C30B11/00 | 分類號: | C30B11/00 |
| 代理公司: | 北京慧智興達知識產權代理有限公司 11615 | 代理人: | 韓龍;劉寶山 |
| 地址: | 361000 福建省廈門市集美區*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 坩堝 承托 承托機構 晶體生長 下降法 下降爐 托桿 本實用新型 下降裝置 低導熱材料 空心圓柱形 承托裝置 固定相連 間隙填充 上下移動 氧化鋯球 晶體的 容置 溫場 填充 生長 加工 | ||
1.一種用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,包括下降爐,下降爐內設置有承托碗,承托碗為空心圓柱形,承托碗的一端與托桿固定相連,托桿與下降裝置相連;承托碗的另一端容置有坩堝,坩堝與承托碗的間隙填充有低導熱材料,下降裝置可通過托桿帶動坩堝在下降爐內上下移動。
2.如權利要求1所述的用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,承托碗包括第一空心圓柱體和第二空心圓柱體,第一空心圓柱體與第二空心圓柱體固定相連。
3.如權利要求2所述的用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,第二空心圓柱體與托桿固定相連,托桿與下降裝置相連,第一空心圓柱體容置有坩堝,坩堝與承托碗的間隙填充有低導熱材料。
4.如權利要求2所述的用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,坩堝包括豎直部與錐型部,豎直部與錐型部固定相連,錐型部容置在第一空心圓柱體內,第一空心圓柱體與錐型部之間的間隙填充低導熱材料。
5.如權利要求1所述的用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,低導熱材料選用氧化鋯球。
6.如權利要求5所述的用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,坩堝與氧化鋯球相連,坩堝與承托碗有間隙。
7.如權利要求1所述的用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,下降爐為圓桶狀,下降爐中間設置有空腔,承托碗設置在空腔中。
8.如權利要求7所述的用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,下降爐包括高溫區與低溫區,高溫區與低溫區之間設置有隔熱區,高溫區設置在低溫區上方。
9.如權利要求1所述的用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,承托碗采用310S不銹鋼制成。
10.如權利要求1所述的用于下降法晶體生長的承托機構,其特征在于,托桿的材料選用剛玉。
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