[實(shí)用新型]一種薄膜晶片分離裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822235096.6
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN209571389U
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 申兵兵;鄒金成
• 申請（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

本實(shí)用新型涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種薄膜晶片分離裝置，包括吸附旋轉(zhuǎn)組件、頂升組件和鎖緊組件，吸附旋轉(zhuǎn)組件包括吸板、固定座和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件，吸板的一端為連接端，一端為自由端，連接端與固定座轉(zhuǎn)動連接，吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜；頂升組件位于自由端的下方，頂升組件帶動吸板向上運(yùn)動，使得薄膜與晶片部分分離；鎖緊組件設(shè)置于固定座上，用于將吸板鎖緊固定，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件與固定座連接，以驅(qū)動固定座帶動吸板轉(zhuǎn)動。本實(shí)用新型設(shè)置頂升組件來輔助分離，破解薄膜與晶片之間的液體張力，可以有效提高分離的成功率，減少分離失敗引起的時間浪費(fèi)，提高產(chǎn)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種薄膜晶片分離裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)的薄膜晶片分離機(jī)構(gòu)通過電機(jī)帶動轉(zhuǎn)軸上的真空吸盤旋轉(zhuǎn)，從而使真空晶片叉吸附的晶片和真空吸盤上吸附的薄膜分離。因為薄膜和晶片的表面有殘余的液體，當(dāng)液體進(jìn)入真空管路后，吸板對薄膜和晶片的實(shí)際吸力比理論值要小，同時薄膜和晶片之間有液體張力，如果液體張力大于分離時吸板對薄膜的翻轉(zhuǎn)力，那么就會造成不能分開薄膜和晶片，也即分離失敗。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問題

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題薄膜和晶片之間存在液體張力，現(xiàn)有的薄膜晶片分離裝置對薄膜的翻轉(zhuǎn)力不足以克服液體張力時，會導(dǎo)致分離失敗的問題。

(二)技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種薄膜晶片分離裝置，包括吸附旋轉(zhuǎn)組件、頂升組件和鎖緊組件，所述吸附旋轉(zhuǎn)組件包括吸板、固定座和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件，所述吸板的一端為連接端，一端為自由端，所述連接端與所述固定座轉(zhuǎn)動連接，所述吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜；所述頂升組件位于所述自由端的下方，所述頂升組件帶動所述吸板向上運(yùn)動，使得所述薄膜與所述晶片部分分離；所述鎖緊組件設(shè)置于所述固定座上，用于將所述吸板鎖緊固定，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件與所述固定座連接，以驅(qū)動所述固定座帶動所述吸板轉(zhuǎn)動。

其中，所述鎖緊組件包括鎖緊板和第一驅(qū)動件，所述鎖緊板設(shè)置于所述吸板的外側(cè)，平行于所述吸板的所述自由端至所述連接端連線方向，所述鎖緊板具有鎖緊所述吸板的鎖緊狀態(tài)和解鎖所述吸板的解鎖狀態(tài)，所述第一驅(qū)動件固定在所述固定座上，且與所述鎖緊板連接，以驅(qū)動所述鎖緊板鎖緊所述吸板或解鎖所述吸板。

其中，所述鎖緊板上設(shè)有鎖緊槽，所述吸板上設(shè)有與所述鎖緊槽相配合的凸起，所述第一驅(qū)動件驅(qū)動所述鎖緊板前進(jìn)或后退，使所述凸起嵌入或退出所述鎖緊槽。

其中，所述鎖緊槽為L型槽，包括橫段槽與豎段槽，所述第一驅(qū)動件驅(qū)動所述鎖緊板前進(jìn)時，所述凸起進(jìn)入所述橫段槽中使所述鎖緊板鎖緊所述吸板，所述第一驅(qū)動件驅(qū)動所述鎖緊板后退時，所述凸起退出所述橫段槽進(jìn)入所述豎段槽使所述吸板解鎖，所述頂升組件頂起所述吸板時，所述凸起可沿所述豎段槽移動。

其中，所述固定座上設(shè)有翻轉(zhuǎn)座和/或第一驅(qū)動件安裝板，所述第一驅(qū)動件固定于所述翻轉(zhuǎn)座和/或所述第一驅(qū)動件安裝板上。

其中，所述鎖緊組件還包括安裝板，所述第一驅(qū)動件通過所述安裝板與所述鎖緊板連接，所述安裝板上設(shè)有導(dǎo)向桿，所述固定座上設(shè)有滑套，所述導(dǎo)向桿沿軸向穿過所述滑套，并可沿所述滑套移動。

其中，所述鎖緊板與所述吸板之間設(shè)有固定板，所述固定板固定于所述固定座上，所述固定板上設(shè)有與所述凸起位置配合的凹槽，所述凸起可沿所述凹槽中移動。

其中，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件包括第二驅(qū)動件和轉(zhuǎn)軸，所述第二驅(qū)動件與所述轉(zhuǎn)軸連接并驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，所述固定座與所述轉(zhuǎn)軸通過翻轉(zhuǎn)座連接。

其中，所述轉(zhuǎn)軸的端部設(shè)有檢測所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)角度的角度傳感器。

其中，所述第一驅(qū)動件為氣缸，所述第二驅(qū)動件為電機(jī)，所述電機(jī)通過聯(lián)軸器與所述轉(zhuǎn)軸連接。