[實用新型]一種薄膜晶片分離裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822235096.6
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN209571389U
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 申兵兵;鄒金成
• 申請（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種薄膜晶片分離裝置，其特征在于：包括吸附旋轉(zhuǎn)組件、頂升組件和鎖緊組件，所述吸附旋轉(zhuǎn)組件包括吸板、固定座和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件，所述吸板的一端為連接端，一端為自由端，所述連接端與所述固定座轉(zhuǎn)動連接，所述吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜；所述頂升組件位于所述自由端的下方，所述頂升組件帶動所述吸板向上運動，使得所述薄膜與所述晶片部分分離；所述鎖緊組件設(shè)置于所述固定座上，用于將所述吸板鎖緊固定，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件與所述固定座連接，以驅(qū)動所述固定座帶動所述吸板轉(zhuǎn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶片分離裝置，其特征在于：所述鎖緊組件包括鎖緊板和第一驅(qū)動件，所述鎖緊板設(shè)置于所述吸板的外側(cè)，平行于所述吸板的所述自由端至所述連接端連線方向，所述鎖緊板具有鎖緊所述吸板的鎖緊狀態(tài)和解鎖所述吸板的解鎖狀態(tài)，所述第一驅(qū)動件固定在所述固定座上，且與所述鎖緊板連接，以驅(qū)動所述鎖緊板鎖緊所述吸板或解鎖所述吸板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜晶片分離裝置，其特征在于：所述鎖緊板上設(shè)有鎖緊槽，所述吸板上設(shè)有與所述鎖緊槽相配合的凸起，所述第一驅(qū)動件驅(qū)動所述鎖緊板前進或后退，使所述凸起嵌入或退出所述鎖緊槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜晶片分離裝置，其特征在于：所述鎖緊槽為L型槽，包括橫段槽與豎段槽，所述第一驅(qū)動件驅(qū)動所述鎖緊板前進時，所述凸起進入所述橫段槽中使所述鎖緊板鎖緊所述吸板，所述第一驅(qū)動件驅(qū)動所述鎖緊板后退時，所述凸起退出所述橫段槽進入所述豎段槽使所述吸板解鎖，所述頂升組件頂起所述吸板時，所述凸起可沿所述豎段槽移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜晶片分離裝置，其特征在于：所述固定座上設(shè)有翻轉(zhuǎn)座和/或第一驅(qū)動件安裝板，所述第一驅(qū)動件固定于所述翻轉(zhuǎn)座和/或所述第一驅(qū)動件安裝板上。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜晶片分離裝置，其特征在于：所述鎖緊組件還包括安裝板，所述第一驅(qū)動件通過所述安裝板與所述鎖緊板連接，所述安裝板上設(shè)有導向桿，所述固定座上設(shè)有滑套，所述導向桿沿軸向穿過所述滑套，并可沿所述滑套移動。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜晶片分離裝置，其特征在于：所述鎖緊板與所述吸板之間設(shè)有固定板，所述固定板固定于所述固定座上，所述固定板上設(shè)有與所述凸起位置配合的凹槽，所述凸起可沿所述凹槽中移動。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶片分離裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件包括第二驅(qū)動件和轉(zhuǎn)軸，所述第二驅(qū)動件與所述轉(zhuǎn)軸連接并驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，所述固定座與所述轉(zhuǎn)軸通過翻轉(zhuǎn)座連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄膜晶片分離裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸的端部設(shè)有檢測所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)角度的角度傳感器。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶片分離裝置，其特征在于：還包括晶片叉，所述晶片叉設(shè)置于所述吸板的下方，以承托所述晶片。