[實用新型]一種半導體器件生產線

有效

• 申請號: 201822233511.4
• 申請日: 2018-12-28
• 公開（公告）號: CN209389009U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 鄧華鮮
• 申請（專利權）人: 樂山希爾電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 成都天嘉專利事務所(普通合伙) 51211
• 代理人: 鄧小兵

1.一種半導體器件生產線，其特征在于：包括自動引線裝配設備、引線點膠及下連接片裝配設備（2）、芯片裝配設備（3）和上連接片裝配設備（4）；所述自動引線裝配設備包括引線排列裝置（5）、引線抓取裝置（6）、鷹眼識別裝置（7）和引線安裝裝置（8）；所述引線點膠及下連接片裝配設備（2）包括工裝定位孔（9）、錫膏池（10）、連接片篩盤（11）、石墨盒定位工裝（12）、三軸運動裝置（13）、沾錫裝置（14）、連接片吸筆裝置（15）和兩個支撐座（16）；所述芯片裝配設備（3）包括工裝定位孔（9）、錫膏池（10）、芯片篩盤（17）、石墨盒定位工裝（12）、沾錫運動裝置（18）、沾錫裝置（14）和兩個支撐座（16）；所述上連接片裝配設備（4）包括工裝定位孔（9）、連接片篩盤（11）、石墨盒定位工裝（12）、連接片運動裝置（19）、連接片吸筆裝置（15）和兩個支撐座（16）。

2.根據權利要求1所述的半導體器件生產線，其特征在于：所述自動引線裝配設備包括工作臺面（20），所述工作臺面（20）上設置有引線排列裝置（5）、引線抓取裝置（6）、鷹眼識別裝置（7）和引線安裝裝置（8），所述引線排列裝置（5）包括振動盤安裝底座（21）、振動盤（22）和頂升機構（23）；所述引線抓取裝置（6）包括機械手安裝座（24）、四軸機械手（25）和引線抓取機構（26）；所述鷹眼識別裝置（7）包括鷹眼安裝架（27）、鷹眼移動機構（28）和CCD工業相機（29）；所述引線安裝裝置（8）包括石墨盒定位盤機構（30）和石墨盒傳動機構（31）；所述工作臺面（20）下方設置有PLC控制器，所述引線排列裝置（5）、引線抓取裝置（6）、鷹眼識別裝置（7）和引線安裝裝置（8）與PLC控制器電性連接。

3.根據權利要求1所述的半導體器件生產線，其特征在于：所述引線點膠及下連接片裝配設備（2）包括工作臺面（20），所述工作臺面（20）上設置有工裝定位孔（9）、錫膏池（10）、連接片篩盤（11）、石墨盒定位工裝（12）、三軸運動裝置（13）、沾錫裝置（14）、連接片吸筆裝置（15）和兩個支撐座（16），所述錫膏池（10）、連接片篩盤（11）和石墨盒定位工裝（12）通過工裝定位栓與工裝定位孔（9）固定連接，所述三軸運動裝置（13）通過支撐座（16）與工作臺面（20）固定連接，所述沾錫裝置（14）和連接片吸筆裝置（15）設置在Z軸運動結構（34）下端，所述工作臺面（20）下方設置有PLC控制器，所述錫膏池（10）、連接片篩盤（11）、三軸運動裝置（13）、沾錫裝置（14）和連接片吸筆裝置（15）均與PLC控制器電性連接。

4.根據權利要求1所述的半導體器件生產線，其特征在于：所述芯片裝配設備（3）包括工作臺面（20），所述工作臺面（20）上設置有工裝定位孔（9）、錫膏池（10）、芯片篩盤（17）、石墨盒定位工裝（12）、沾錫運動裝置（18）、沾錫裝置（14）和兩個支撐座（16），所述錫膏池（10）、芯片篩盤（17）和石墨盒定位工裝（12）通過工裝定位栓與工裝定位孔（9）固定連接，所述沾錫運動裝置（18）通過支撐座（16）與工作臺面（20）固定連接，所述沾錫運動裝置（18）包括X軸運動結構（32）、Y軸運動結構（33）、Z軸運動結構（34）、安裝板（35）和沾錫運動主體（37），所述Y軸運動結構（33）設置在工作臺面（20）左側設置的支撐座（16）上，所述兩個支撐座（16）之間固定設置有安裝板（35），所述X軸運動結構（32）和沾錫運動主體（37）設置在安裝板（35）上，所述Z軸運動結構（34）設置在沾錫運動主體（37）上，所述沾錫裝置（14）設置在Z軸運動結構（34）下端，所述工作臺面（20）下方設置有PLC控制器，所述錫膏池（10）、芯片篩盤（17）、沾錫運動裝置（18）和沾錫裝置（14）均與PLC控制器電性連接。