[實用新型]一種真空蒸鍍設備有效
| 申請號: | 201822221620.4 | 申請日: | 2018-12-27 |
| 公開(公告)號: | CN209702838U | 公開(公告)日: | 2019-11-29 |
| 發明(設計)人: | 陳曉;顏峰;廖良生;周讓林;陳敏 | 申請(專利權)人: | 蘇州方昇光電股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 32102 南京蘇科專利代理有限責任公司 | 代理人: | 范丹丹<國際申請>=<國際公布>=<進入 |
| 地址: | 215021 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 擋板組件 第二擋板 第一擋板 驅動組件 蓋板 防污 真空蒸鍍設備 閉合 開口 支撐組件 翻轉 蒸發源 本實用新型 可控制擋板 傳動連接 生產效率 平面的 蒸鍍室 蒸鍍 遮擋 匹配 室內 驅動 節約 | ||
1.一種真空蒸鍍設備,其特征在于:包括蒸鍍室,設置在蒸鍍室內的支撐組件(10),扣合在所述支撐組件上的防污蓋板(20),安裝在防污蓋板下方的擋板組件(30),及與擋板組件相連接的驅動組件(40),所述防污蓋板上設置有開口(21);所述擋板組件(30)與所述開口(21)相匹配,所述擋板組件(30)包括能夠相互配合封閉所述開口的第一擋板(31)及第二擋板(32);所述驅動組件(40)與所述第一擋板(31)及第二擋板(32)傳動連接,所述驅動組件(40)能夠驅動所述第一擋板(31)與第二擋板(32)翻轉閉合,遮擋所述開口(21)。
2.根據權利要求1所述的一種真空蒸鍍設備,其特征在于:所述支撐組件(10)包括固定設置在蒸鍍室內壁上的多個支撐塊(11),及固定設置在支撐塊上的防污折彎板,所述防污折彎板與所述蒸鍍室的內側壁密封貼合。
3.根據權利要求2所述的一種真空蒸鍍設備,其特征在于:所述擋板組件(30)還包括分別與所述第一擋板(31)及第二擋板(32)的一端固定連接的第一轉軸(33)和第二轉軸(34),所述第一轉軸(33)及第二轉軸(34)轉動設置在所述支撐塊(11)上,所述驅動組件(40)分別與所述第一轉軸(33)和第二轉軸(34)傳動連接。
4.根據權利要求3所述的一種真空蒸鍍設備,其特征在于:所述第一擋板(31)與第二擋板(32)鏡像對稱設置,所述驅動組件(40)包括分別與第一轉軸(33)及第二轉軸(34)傳動連接的兩個驅動結構。
5.根據權利要求4所述的一種真空蒸鍍設備,其特征在于:所述驅動結構包括設置在蒸鍍室外部的連桿組件(411)及氣缸(412),兩個驅動結構的所述連桿組件(411)分別將氣缸伸縮桿的直線運動轉化成第一轉軸(33)及第二轉軸(34)的旋轉運動。
6.根據權利要求4所述的一種真空蒸鍍設備,其特征在于:所述驅動結構還包括磁流體密封件(413),兩個所述驅動結構的連桿組件(411)分別通過磁流體密封件(413)與所述第一轉軸(33)及第二轉軸(34)連接,所述磁流體密封件(413)貫穿設置在蒸鍍室的腔壁上。
7.根據權利要求3所述的一種真空蒸鍍設備,其特征在于:所述支撐組件還包括固定設置在所述支撐塊上的多個軸套(35),所述第一轉軸(33)及第二轉軸(34)的兩端轉動設置在所述軸套(35)內。
8.根據權利要求1所述的一種真空蒸鍍設備,其特征在于:所述第一擋板(31)與所述第二擋板(32)的對接處具有相互匹配的臺階狀結構,使所述第一擋板(31)與所述第二擋板(32)對接后能夠閉合擋板間的縫隙。
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