[實用新型]一種研磨機

有效

• 申請號: 201822213535.3
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN209319541U
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發明（設計）人: 陳李剛;張宇平;曾慧;毛榮昌;朱國強;紀步成
• 申請（專利權）人: 衢州晶哲電子材料有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B57/02
• 代理公司: 衢州維創維邦專利代理事務所(普通合伙) 33282
• 代理人: 慈程麟

1.一種研磨機，其特征在于：包括研磨機架(1)和設置在研磨機架(1)上的下研磨臺(2)，所述研磨機架(1)上且位于下研磨臺(2)的一側設置有固定架(3)，所述固定架(3)頂部設置有驅動氣缸(4)，所述驅動氣缸(4)的輸出端連接有驅動桿(5)，所述驅動桿(5)遠離驅動氣缸(4)的一端沿豎直方向連接有上研磨臺(6)，所述上研磨臺(6)相對設置在下研磨臺(2)正上方，所述下研磨臺(2)相對上研磨臺(6)的一側側壁上開設有研磨槽(11)，所述研磨槽(11)中轉動設置有轉動臺(12)，所述研磨機架(1)上設置有用于驅動轉動臺(12)轉動的驅動組件，所述驅動組件包括設置在研磨機架(1)上的第一驅動電機(21)和中心轉軸(23)，所述中心轉軸(23)的一端與轉動臺(12)底部中心位置處連接，所述中心轉軸(23)側壁上設置有中心齒盤(24)，所述第一驅動電機(21)的輸出端連接有第一轉動軸(22)，所述第一轉動軸(22)側壁上設置有與中心齒盤(24)相適配的第一齒盤(25)，所述第一轉動軸(22)通過第一齒盤(25)和中心齒盤(24)相配合與中心轉軸(23)傳動連接，所述轉動臺(12)上表面沿周向轉動設置有若干轉動座(13)，所述轉動座(13)上表面開設有供晶片放置的放置槽(14)；所述驅動桿(5)側壁上且位于上研磨臺(6)上方設置有內置下料腔(15)的下料板(16)，所述下料板(16)側壁上連接有用于通入研磨液的導入管(17)，所述下料板(16)朝向上研磨臺(6)的一側側壁上沿周向設置有若干導出管(18)，所述上研磨臺(6)上且位于研磨槽(11)的正上方沿周向上下貫穿設置有若干通孔(19)，若干導出管(18)遠離下料板(16)的一端分別與若干通孔(19)對接。

2.根據權利要求1所述的一種研磨機，其特征在于：所述中心轉軸(23)上上下貫穿設置有通道(31)，所述研磨機架(1)上且位于下研磨臺(2)下方設置有第二驅動電機(32)，所述第二驅動電機(32)的輸出端連接有第二轉動軸(33)，所述第二轉動軸(33)遠離第二驅動電機(32)的一端依次穿過通道(31)和轉動臺(12)后連接有第三齒盤(34)，所述轉動座(13)側壁上設置有與第三齒盤(34)相適配的第四齒盤(35)，所述第二轉動軸(33)通過第三齒盤(34)和第四齒盤(35)相配合分別與若干轉動座(13)傳動連接。

3.根據權利要求2所述的一種研磨機，其特征在于：所述轉動座(13)上表面水平高度與下研磨臺(2)上表面水平高度相等。

4.根據權利要求3所述的一種研磨機，其特征在于：所述第三齒盤(34)上表面水平高度小于下研磨臺(2)上表面水平高度。

5.根據權利要求1所述的一種研磨機，其特征在于：若干通孔(19)沿周向彼此等距離間隔設置在上研磨臺(6)上。

6.根據權利要求1所述的一種研磨機，其特征在于：所述研磨機架(1)底部設置有橡膠減震墊(36)。