[實用新型]一種實時云紋干涉圖高速相位測量及提取系統

有效

• 申請號: 201822212588.3
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN209416278U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 馬峻;毛露露;陳壽宏;徐翠鋒;尚玉玲;郭玲
• 申請（專利權）人: 桂林電子科技大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B11/16
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 石燕妮

1.一種實時云紋干涉圖高速相位測量系統，其特征在于，該測量系統包括激光器(2)、分光耦合器(3)、相移器(4)、隔振平臺(1)、底座(15)、平移臺(16)、多維調節加載架(17)、試件放置臺(5)、云紋干涉光路結構(6)、可調節支桿(7)和圖像采集模塊(8)；

所述激光器(2)、分光耦合器(3)、相移器(4)、底座(15)設置于所述隔振平臺(1)上，所述平移臺(16)設置于底座上，所述多維調節加載架(17)設置于平移臺上，所述試件放置臺(5)設置于多維調節加載架(17)上，所述激光器(2)通過所述分光耦合器(3)與所述云紋干涉光路結構(6)連接，所述云紋干涉光路結構(6)設置于所述試件放置臺(5)的上方空間；所述相移器(4)與所述試件放置臺(5)連接；

激光器(2)發出的光經過云紋干涉光路結構后照射到待測試件表面，由待測試件反射至圖像采集模塊(8)中。

2.根據權利要求1所述的一種實時云紋干涉圖高速相位測量系統，其特征在于，所述云紋干涉光路結構(6)包括光纖分光器(60)、場鏡(61)、第一反射鏡(62)、第二反射鏡(63)、第三反射鏡(64)、第四反射鏡(65)、第一激光耦合器(66)、第二激光耦合器(67)、第一準直鏡(68)、第二準直鏡(69)，

所述光纖分光器(60)將激光發射器發射的光分成兩路，其中一路光依次經所述第一激光耦合器(66)、第四反射鏡(65)、第二準直鏡(69)、第二反射鏡(63)照射到所述待測試件(18)表面；另一路光依次依次經所述第二激光耦合器(67)、第一反射鏡(62)、第一準直鏡(68)、第三反射鏡(64)照射到所述待測試件(18)表面上。

3.根據權利要求1所述的一種實時云紋干涉圖高速相位測量系統，其特征在于，所述圖像采集模塊為COMS相機。

4.根據權利要求1或2所述的一種實時云紋干涉圖高速相位測量系統，其特征在于，該測量系統還包括光柵，設置于待測試件的表面。

5.一種實時云紋干涉圖高速相位提取系統，其特征在于，該提取系統包括如權利要求1～4任意一項所述的相位測量系統，還包括控制模塊(10)，所述控制模塊與所述圖像采集模塊電連接。

6.根據權利要求5所述的一種實時云紋干涉圖高速相位提取系統，其特征在于，該提取系統還包括顯示模塊(11)，與所述控制模塊連接。

7.根據權利要求6所述的一種實時云紋干涉圖高速相位提取系統，其特征在于，所述顯示模塊為液晶顯示屏。

8.根據權利要求6所述的一種實時云紋干涉圖高速相位提取系統，其特征在于，所述控制模塊為FPGA。

9.根據權利要求8所述的一種實時云紋干涉圖高速相位提取系統，其特征在于，所述圖像采集模塊與所述FPGA通過IDC軟扁平電纜連接。

10.根據權利要求8所述的一種實時云紋干涉圖高速相位提取系統，其特征在于，所述顯示模塊與所述FPGA通過HDMI轉VGA信號轉接線連接。