[實用新型]一種用于固定硅片清洗的清洗片架

有效

• 申請號: 201822211647.5
• 申請日: 2018-12-27
• 公開（公告）號: CN209119059U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 章斌;王林;紀步成;陳李剛;朱國強;蔣志彬
• 申請（專利權）人: 衢州晶哲電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 衢州維創維邦專利代理事務所(普通合伙) 33282
• 代理人: 慈程麟

1.一種用于固定硅片清洗的清洗片架，其特征在于：包括頂部開口呈長方體狀的盒體(1)，所述盒體(1)底部內壁上沿長度方向相對設置有兩塊支撐板(2)，該兩塊支撐板(2)頂部分別相對設置有兩個斜面(3)，該兩個斜面(3)上沿支撐板(2)的長度方向彼此等距離間隔設置有若干固定塊(4)，相鄰的兩塊固定塊(4)之間形成有供硅片放置的固定槽(5)，所述盒體(1)左右兩側相對的內壁上沿長度方向彼此等距離間隔設置有若干側固定槽(6)，該若干側固定槽(6)和若干固定槽(5)分別一一對應位于同一縱向平面，所述盒體(1)兩側外壁上分別沿長度方向上下相對設置有若干上通孔(7)和下通孔(8)，該若干上通孔(7)和下通孔(8)貫穿盒體(1)外壁后分別與若干側固定槽(6)對應連通，所述盒體(1)底部內壁上且位于兩塊支撐板(2)之間沿盒體(1)長度方向開設有導通槽(9)。

2.根據權利要求1所述的一種用于固定硅片清洗的清洗片架，其特征在于：所述側固定槽(6)的槽寬度由朝向支撐板(2)的一側往一側逐漸減小。

3.根據權利要求1或2所述的一種用于固定硅片清洗的清洗片架，其特征在于：所述盒體(1)底部內壁上且位于支撐板(2)和盒體(1)內側壁之間沿盒體(1)長度方向彼此等距離間隔開設有若干導通孔(10)。

4.根據權利要求3所述的一種用于固定硅片清洗的清洗片架，其特征在于：所述導通孔(10)設置在相鄰的兩個固定槽(5)之間。

5.根據權利要求1或2所述的一種用于固定硅片清洗的清洗片架，其特征在于：所述盒體(1)前后兩側相對的內壁上分別開設有半圓狀的凹陷槽(12)和長方形狀的進液孔(13)，所述凹陷槽(12)設置在盒體(1)前側內壁上部，所述進液孔(13)設置在后側內壁下部并與導通槽(9)連通。

6.根據權利要求5所述的一種用于固定硅片清洗的清洗片架，其特征在于：所述盒體(1)后側外壁上部開設有輔助凹陷槽(15)，所述輔助凹陷槽(15)的槽深度小于凹陷槽(12)槽深度。

7.根據權利要求5所述的一種用于固定硅片清洗的清洗片架，其特征在于：所述盒體(1)后側外壁上圍繞進液孔(13)設置有若干加固板(14)。

8.根據權利要求1或2所述的一種用于固定硅片清洗的清洗片架，其特征在于：所述盒體(1)兩側相對的側壁頂部開口處分別設置有兩塊翼板(11)。