[實(shí)用新型]自動(dòng)定位式上下設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822206087.4
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號(hào): CN209478651U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施政;施心星;李斌
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州鐳明激光科技有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/04
• 分類號(hào): B28D7/04;B24B41/06;B24B41/00
• 代理公司: 蘇州唯亞智冠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32289
• 代理人: 高玉蓉

本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)定位式上下設(shè)備，包括有底座，底座上安裝有晶圓夾取裝置，晶圓夾取裝置上連接有晶圓定位裝置，晶圓夾取裝置的一側(cè)安裝有料盒升降裝置，晶圓定位裝置上還連接有晶圓轉(zhuǎn)移裝置。由此，帶有自動(dòng)定位裝置，能將運(yùn)輸中的晶圓準(zhǔn)確定位放置到加工位和料盒中。整體構(gòu)造簡單，一體性好，無需占用較大的設(shè)備空間。能夠與目前常規(guī)的晶圓加工設(shè)備匹配使用，泛用性較好。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種上下設(shè)備，尤其涉及一種自動(dòng)定位式上下設(shè)備。

背景技術(shù)

目前在晶圓加工行業(yè)，晶圓取放裝置普遍復(fù)雜且空間較大，導(dǎo)致設(shè)備空間變大，制造成本提高，因此有必要設(shè)計(jì)一種空間小，價(jià)格低且?guī)в凶詣?dòng)定位的全自動(dòng)上下料裝置。

有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種自動(dòng)定位式上下設(shè)備，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種自動(dòng)定位式上下設(shè)備。

本實(shí)用新型的自動(dòng)定位式上下設(shè)備，包括有底座，其中：所述底座上安裝有晶圓夾取裝置，所述晶圓夾取裝置上連接有晶圓定位裝置，所述晶圓夾取裝置的一側(cè)安裝有料盒升降裝置，所述晶圓定位裝置上還連接有晶圓轉(zhuǎn)移裝置。

進(jìn)一步地，上述的自動(dòng)定位式上下設(shè)備，其中，所述晶圓夾取裝置包括有支撐腳，所述支撐腳與底座相連，所述支撐腳上安裝有第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌的兩端均設(shè)置有軸承安裝座，所述軸承安裝座之間連接有第一絲桿，所述第一絲桿的一端連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述第一導(dǎo)軌上安裝有夾持組件。

更進(jìn)一步地，上述的自動(dòng)定位式上下設(shè)備，其中，所述夾持組件夾持組件包括有夾子連接板，所述夾子連接板上連接有氣缸，所述氣缸上設(shè)置有夾片。

更進(jìn)一步地，上述的自動(dòng)定位式上下設(shè)備，其中，所述晶圓定位裝置包括有安裝腳，所述安裝腳與底座相連，所述安裝腳上連接有安裝板，所述安裝板兩側(cè)均連接有副帶輪，且至少一個(gè)副帶輪上連接有控制電機(jī)，所述副帶輪上套設(shè)有副皮帶，所述副皮帶上安裝有定位塊。

更進(jìn)一步地，上述的自動(dòng)定位式上下設(shè)備，其中，所述料盒升降裝置包括有安裝底板，所述安裝底板的兩側(cè)安裝有第二導(dǎo)軌，所述安裝底板上還連接有第二絲桿，所述第二絲桿的兩端設(shè)置有軸承安裝座，所述第二導(dǎo)軌上安裝有料盒支撐板且料盒支撐板位于第二絲桿的上端，所述安裝底板上安裝有升降電機(jī)，所述第二絲桿與升降電機(jī)上均設(shè)置有獨(dú)立的主帶輪，所述主帶輪上套設(shè)有主皮帶。

更進(jìn)一步地，上述的自動(dòng)定位式上下設(shè)備，其中，所述晶圓轉(zhuǎn)移裝置包括有與晶圓定位裝置相連的轉(zhuǎn)接板，所述轉(zhuǎn)接板上安裝有伸縮桿，所述伸縮桿上連接有轉(zhuǎn)移電機(jī)。

再進(jìn)一步地，上述的自動(dòng)定位式上下設(shè)備，其中，所述伸縮桿的安裝位置位于所述晶圓定位裝置的上方。

借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、帶有自動(dòng)定位裝置，能將運(yùn)輸中的晶圓準(zhǔn)確定位放置到加工位和料盒中。

2、整體構(gòu)造簡單，一體性好，無需占用較大的設(shè)備空間。

3、能夠與目前常規(guī)的晶圓加工設(shè)備匹配使用，泛用性較好。

上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

附圖說明

圖1是自動(dòng)定位式上下設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中各附圖標(biāo)記的含義如下。

1 底座 2 晶圓夾取裝置

3 晶圓定位裝置 4 料盒升降裝置