[實用新型]自動定位式上下設備

有效

• 申請號: 201822206087.4
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209478651U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 施政;施心星;李斌
• 申請（專利權）人: 蘇州鐳明激光科技有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B24B41/06;B24B41/00
• 代理公司: 蘇州唯亞智冠知識產權代理有限公司 32289
• 代理人: 高玉蓉

1.自動定位式上下設備，包括有底座，其特征在于：所述底座上安裝有晶圓夾取裝置，所述晶圓夾取裝置上連接有晶圓定位裝置，所述晶圓夾取裝置的一側安裝有料盒升降裝置，所述晶圓定位裝置上還連接有晶圓轉移裝置。

2.根據權利要求1所述的自動定位式上下設備，其特征在于：所述晶圓夾取裝置包括有支撐腳，所述支撐腳與底座相連，所述支撐腳上安裝有第一導軌，所述第一導軌的兩端均設置有軸承安裝座，所述軸承安裝座之間連接有第一絲桿，所述第一絲桿的一端連接有驅動電機，所述第一導軌上安裝有夾持組件。

3.根據權利要求2所述的自動定位式上下設備，其特征在于：所述夾持組件夾持組件包括有夾子連接板，所述夾子連接板上連接有氣缸，所述氣缸上設置有夾片。

4.根據權利要求1所述的自動定位式上下設備，其特征在于：所述晶圓定位裝置包括有安裝腳，所述安裝腳與底座相連，所述安裝腳上連接有安裝板，所述安裝板兩側均連接有副帶輪，且至少一個副帶輪上連接有控制電機，所述副帶輪上套設有副皮帶，所述副皮帶上安裝有定位塊。

5.根據權利要求1所述的自動定位式上下設備，其特征在于：所述料盒升降裝置包括有安裝底板，所述安裝底板的兩側安裝有第二導軌，所述安裝底板上還連接有第二絲桿，所述第二絲桿的兩端設置有軸承安裝座，所述第二導軌上安裝有料盒支撐板且料盒支撐板位于第二絲桿的上端，所述安裝底板上安裝有升降電機，所述第二絲桿與升降電機上均設置有獨立的主帶輪，所述主帶輪上套設有主皮帶。

6.根據權利要求1所述的自動定位式上下設備，其特征在于：所述晶圓轉移裝置包括有與晶圓定位裝置相連的轉接板，所述轉接板上安裝有伸縮桿，所述伸縮桿上連接有轉移電機。

7.根據權利要求6所述的自動定位式上下設備，其特征在于：所述伸縮桿的安裝位置位于所述晶圓定位裝置的上方。