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[實用新型]一種單晶硅棒定位及取片機構有效

專利信息
申請號: 201822205497.7 申請日: 2018-12-26
公開(公告)號: CN209580125U 公開(公告)日: 2019-11-05
發明(設計)人: 朱文志;李波;湯文博;藍碧峰;范舒彬;林孝獅;黃田玉;林光展 申請(專利權)人: 福州天瑞線鋸科技有限公司
主分類號: B28D5/00 分類號: B28D5/00;B28D7/04
代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219 代理人: 林祥翔;張忠波
地址: 350100 福建*** 國省代碼: 福建;35
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 單晶硅棒 真空吸盤 升降機構 軸向移動驅動機構 本實用新型 驅動底座 取片機構 豎向移動 片料 底座 切割 驅動 傳動連接 底座連接 加工效率 人工成本 人工調節 中心處 錯開 移動 取片 取下 自動化
【權利要求書】:

1.一種單晶硅棒定位及取片機構,其特征在于,包括真空吸盤、底座、軸向移動驅動機構、升降機構;

所述真空吸盤與升降機構連接,用于吸緊單晶硅棒的端面;

所述升降機構與底座連接,用于驅動真空吸盤豎向移動;

所述軸向移動驅動機構與底座傳動連接,用于驅動底座移動以帶動真空吸盤靠近或遠離單晶硅棒的端面。

2.根據權利要求1所述的單晶硅棒定位及取片機構,其特征在于,所述升降機構包括升降支架及伸縮機構,所述升降支架與底座連接,所述伸縮機構豎向設置于升降支架處,所述真空吸盤與伸縮機構連接。

3.根據權利要求2所述的單晶硅棒定位及取片機構,其特征在于,所述伸縮機構為氣缸、油缸或直線電機,伸縮機構的輸出軸設置有上滑動座板,所述真空吸盤設置于上滑動座板處。

4.根據權利要求1所述的單晶硅棒定位及取片機構,其特征在于,還包括定位柱及固定座;所述固定座與升降機構連接,所述定位柱與固定座連接,且固定柱的軸線與底座移動方向軌跡同朝向設置;所述真空吸盤設置于固定柱的端面處。

5.根據權利要求1所述的單晶硅棒定位及取片機構,其特征在于,所述底座的底面開設有滑槽,所述滑槽與單晶硅棒裝夾裝置的軸向設置的直線滑軌相適配。

6.根據權利要求1所述的單晶硅棒定位及取片機構,其特征在于,所述真空吸盤設置有至少兩個。

7.根據權利要求1所述的單晶硅棒定位及取片機構,其特征在于,所述軸向移動驅動機包括伺服電機及減速機,所述減速機與伺服電機連接,所述伺服電機的輸出軸為傳動絲桿。

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