[實(shí)用新型]一種激光分光裝置及加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822204722.5
• 申請(qǐng)日: 2018-12-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209417416U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁宗森;陳國(guó)棟;呂洪杰;翟學(xué)濤;楊朝輝;高云峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司;深圳市大族數(shù)控科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02B26/06
• 分類(lèi)號(hào): G02B26/06;G02B27/28;B23K26/067
• 代理公司: 深圳市世聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44385
• 代理人: 汪琳琳

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種激光分光裝置及加工裝置，包括：底座；激光器，設(shè)置在所述底座上；半波片組件，設(shè)置在所述激光器的出光光路上，包括半波片及與之傳動(dòng)連接的驅(qū)動(dòng)裝置，所述半波片在所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下以所述激光器發(fā)出的激光的光軸為中心旋轉(zhuǎn)；分束裝置，設(shè)置有薄膜偏振分光片以及與之連接的維度調(diào)節(jié)組件，所述薄膜偏振分光片設(shè)置在所述半波片的出光光路上。本實(shí)用新型帶來(lái)的有益效果是提高高功率激光分束的穩(wěn)定性，可對(duì)激光分束后的能量進(jìn)行控制，且操作方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及激光加工領(lǐng)域，具體涉及一種激光分光裝置及加工裝置。

背景技術(shù)

隨著激光技術(shù)的發(fā)展，超快脈沖激光器的平均功率及峰值功率越來(lái)越高，在激光精密加工設(shè)備中，為高效利用激光器的高功率，通常將激光器輸出的光束分束，設(shè)備由一個(gè)加工頭增加為兩個(gè)甚至更多。固體超快激光器的輸出光束為線偏振光，在使用波片+偏振分光棱鏡的分光技術(shù)中，高功率高能量密度通常導(dǎo)致偏振分光棱鏡產(chǎn)生熱透鏡等非線性效應(yīng)。

并且，在確定反射鏡反射率后，固定光源輸出固定功率，分光光路的功率就不能再次改變，這樣在激光功率調(diào)節(jié)上極為不便。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供了一種激光分光裝置及加工裝置，旨在解決使用波片+偏振分光棱鏡的分光技術(shù)中，高功率高能量密度通常導(dǎo)致偏振分光棱鏡產(chǎn)生熱透鏡等非線性效應(yīng)，以及分光光路的功率不能再次改變的問(wèn)題。

本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案如下：

一種激光分光裝置，包括：

底座；

激光器，設(shè)置在所述底座上；

半波片組件，設(shè)置在所述激光器的出光光路上，包括半波片及與之傳動(dòng)連接的驅(qū)動(dòng)裝置，所述半波片在所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下以所述激光器發(fā)出的激光的光軸為中心旋轉(zhuǎn)；

分束裝置，設(shè)置有薄膜偏振分光片以及與之連接的維度調(diào)節(jié)組件，所述薄膜偏振分光片設(shè)置在所述半波片的出光光路上。

優(yōu)選的，所述維度調(diào)節(jié)組件包括：設(shè)置在所述底座上的滑臺(tái)組件、設(shè)置在所述滑臺(tái)組件上的支座、設(shè)置在所述支座上的三維角度調(diào)節(jié)架、以及設(shè)置在所述三維角度調(diào)節(jié)架上的安裝座；所述薄膜偏振分光片設(shè)置在所述安裝座上。通過(guò)將所述薄膜偏振分光片設(shè)置在所述安裝座上，可以更好的固定所述薄膜偏振分光片。通過(guò)將所述安裝座設(shè)置在所述三維角度調(diào)節(jié)架上，可以通過(guò)所述三維角度調(diào)節(jié)架帶動(dòng)所述薄膜偏振分光片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而調(diào)節(jié)所述薄膜偏振分光片的角度，使光束以布儒斯特角入射。

優(yōu)選的，所述三維角度調(diào)節(jié)架包括：設(shè)置在所述支座上的固定板、可旋轉(zhuǎn)設(shè)置在所述固定板上的旋轉(zhuǎn)板、以及設(shè)置在所述固定板上用于調(diào)節(jié)所述旋轉(zhuǎn)板傾斜角度的傾斜調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；所述安裝座設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)板上。通過(guò)設(shè)置旋轉(zhuǎn)板可以調(diào)節(jié)所述薄膜偏振分光片的旋轉(zhuǎn)角度，通過(guò)在所述固定板上設(shè)置傾斜調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可以調(diào)節(jié)所述旋轉(zhuǎn)板的水平位置，保證所述薄膜偏振分光片的表面與光路傳播平面垂直。

優(yōu)選的，所述滑臺(tái)組件包括：設(shè)置在所述底座上的滑板、可滑動(dòng)設(shè)置在所述滑板上的滑臺(tái)；所述支座設(shè)置在所述滑臺(tái)上。所述滑板上設(shè)置所述滑臺(tái)，所述支座又設(shè)置在所述滑臺(tái)上，這樣可以通過(guò)調(diào)節(jié)滑臺(tái)的位置帶動(dòng)所述薄膜偏振分光片移動(dòng)，使光束的入射點(diǎn)保持在所述薄膜偏振分光片的中心。

優(yōu)選的，所述安裝座上設(shè)置有至少一個(gè)用于拆裝所述薄膜偏振分光片的缺口。這樣在安裝以及拆卸所述薄膜偏振分光片的時(shí)候，方便裝入或取出所述薄膜偏振分光片。

優(yōu)選的，所述薄膜偏振分光片通過(guò)點(diǎn)膠固定到所述安裝座上，所述薄膜偏振分光片的邊緣涂抹散熱硅脂。所述薄膜偏振分光片通過(guò)點(diǎn)膠固定到所述安裝座上，可以減少所述薄膜偏振分光片受到的應(yīng)力，降低激光束波前畸變，還在所述薄膜偏振分光片的邊緣涂抹散熱硅脂，可以提高所述薄膜偏振分光片的散熱能力，降低熱效應(yīng)。