[實用新型]一種激光分光裝置及加工裝置

有效

• 申請號: 201822204722.5
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209417416U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 梁宗森;陳國棟;呂洪杰;翟學濤;楊朝輝;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司;深圳市大族數控科技有限公司
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06;G02B27/28;B23K26/067
• 代理公司: 深圳市世聯合知識產權代理有限公司 44385
• 代理人: 汪琳琳

1.一種激光分光裝置，其特征在于，包括：

底座；

激光器，設置在所述底座上；

半波片組件，設置在所述激光器的出光光路上，包括半波片及與之傳動連接的驅動裝置，所述半波片在所述驅動裝置的驅動下以所述激光器發出的激光的光軸為中心旋轉；

分束裝置，設置有薄膜偏振分光片以及與之連接的維度調節組件，所述薄膜偏振分光片設置在所述半波片的出光光路上。

2.根據權利要求1所述的一種激光分光裝置，其特征在于，所述維度調節組件包括：設置在所述底座上的滑臺組件、設置在所述滑臺組件上的支座、設置在所述支座上的三維角度調節架、以及設置在所述三維角度調節架上的安裝座；

所述薄膜偏振分光片設置在所述安裝座上。

3.根據權利要求2所述的一種激光分光裝置，其特征在于，所述三維角度調節架包括：設置在所述支座上的固定板、可旋轉設置在所述固定板上的旋轉板、以及設置在所述固定板上用于調節所述旋轉板傾斜角度的傾斜調節機構；

所述安裝座設置在所述旋轉板上。

4.根據權利要求2或3所述的一種激光分光裝置，其特征在于，所述滑臺組件包括：設置在所述底座上的滑板、可滑動設置在所述滑板上的滑臺；

所述支座設置在所述滑臺上。

5.根據權利要求2所述的一種激光分光裝置，其特征在于，所述安裝座上設置有至少一個用于拆裝所述薄膜偏振分光片的缺口。

6.根據權利要求2所述的一種激光分光裝置，其特征在于，所述薄膜偏振分光片通過點膠固定到所述安裝座上，所述薄膜偏振分光片的邊緣涂抹散熱硅脂。

7.根據權利要求2所述的一種激光分光裝置，其特征在于，所述維度調節組件上設置有用于控制所述薄膜偏振分光片溫度的閉環冷卻系統。

8.根據權利要求7所述的一種激光分光裝置，其特征在于，所述閉環冷卻系統包括：設置在所述安裝座底部的熱敏電阻、設置在所述支座與所述三維角度調節架之間的半導體制冷器、設置在所述支座上的第一冷水管、以及與所述第一冷水管對應設置在所述支座上的第二冷水管。

9.根據權利要求1所述的一種激光分光裝置，其特征在于，還包括：用于反射所述分束裝置透射出的光束的第一反射組件、以及用于反射所述分束裝置反射出的光束的第二反射組件。

10.一種激光加工裝置，其特征在于，包括：權利要求1-9任一所述的激光分光裝置、設置在所述激光分光裝置透射出的光束的光路上的第一激光加工頭、以及設置在所述激光分光裝置反射出的光束的光路上的第二激光加工頭。