[實用新型]枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置

有效

• 申請號: 201822201167.0
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209352989U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 簡健哲;陳瀅如
• 申請（專利權）人: 安徽宏實自動化裝備有限公司
• 主分類號: C25D19/00
• 分類號: C25D19/00;C25D17/00;C25D7/12;C25D5/50
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

本實用新型公開枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置，包括傳動機構、第一沖洗室、蝕刻室、第二沖洗室、第三沖洗室、電鍍室、第四沖洗室、第五沖洗室、吹風室和紅外干燥室；傳動機構包括入料傳送開口和出料傳送開口，入料傳送開口和出料傳送開口底部均固定設置有第一電機和傳動裝置，傳動裝置上部固定設置有支撐板，傳動裝置與支撐板中部水平設置的傳動輥聯動；第一沖洗室和第三沖洗室均包括去離水箱，第二沖洗室。本實用新型通過設置傳動機構、第一沖洗室、蝕刻室、第二沖洗室、第三沖洗室、電鍍室、第四沖洗室、第五沖洗室、吹風室和紅外干燥室，使得晶圓被傳動輥單方向進行傳動，有效降低電鍍化學品的設備和維護成本。

技術領域

本實用新型涉及半導體濕式制作設備領域，具體涉及枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置。

背景技術

半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料，無論從科技或是經濟發展角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的，為了滿足量產上的需求，半導體的電性必須是可預測并且穩定的。對于一個半導體而言，材料晶圓的缺陷通常是影響元件性能的主因。

目前的晶圓電鍍裝置，在使用上經常出現產能不足的情況，這種情況下需要增加多個機臺來滿足產能的生產。然而這樣的話不僅對企業的經濟損耗大，同時還非常占據企業廠房的空間。

實用新型內容

為了克服上述的技術問題，本實用新型的目的在于提供枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置，通過設置傳動機構、第一沖洗室、蝕刻室、第二沖洗室、第三沖洗室、電鍍室、第四沖洗室、第五沖洗室、吹風室和紅外干燥室，使得晶圓被傳動輥單方向進行傳動，從初步去除晶圓表面粘附的臟污顆粒，到表面的氧化污染物質進行去除，到表面的殘余低濃度的化學微蝕刻溶液進行去除，到表面的污染物進行完全去除，到電鍍銅離子過程，到初步稀釋去除表面殘留的電鍍化學溶液，到完全去除晶圓表面剩余殘留電鍍化學物質，到表面的水珠進行初步吹干，熱傳導使其充分干燥，最終被傳遞至出料傳送開口。有效降低電鍍化學品的設備和維護成本。

本實用新型的目的可以通過以下技術方案實現：

枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置，包括傳動機構、第一沖洗室、蝕刻室、第二沖洗室、第三沖洗室、電鍍室、第四沖洗室、第五沖洗室、吹風室和紅外干燥室；

所述傳動機構包括入料傳送開口和出料傳送開口，所述入料傳送開口和出料傳送開口底部均固定設置有第一電機和傳動裝置，所述傳動裝置上部固定設置有支撐板，所述傳動裝置與支撐板中部水平設置的傳動輥聯動；

所述第一沖洗室和第三沖洗室均包括去離水箱，第二沖洗室、第四沖洗室和第五沖洗室均包括市水箱，所述去離水箱和市水箱頂部均固定設置有第一固定架，所述第一固定架頂部中間位置兩端均開設有螺紋滑槽，所述螺紋滑槽之間設置有相匹配的螺紋桿，所述螺紋桿頂部固定連接有第二電機的輸出軸；

所述蝕刻室包括藥液箱，所述藥液箱上方固定設置有第二固定架，所述第二固定架頂部固定設置有滑槽板，所述滑槽板中間位置固定設置有限位板，所述滑槽板內兩端均固定設置有第一氣泵，所述第一氣泵輸出端固定連接有第一伸縮桿，所述第一伸縮桿固定連接有滑塊；

所述電鍍室包括槽體，所述槽體上方固定設置有陽極板，所述陽極板與槽體之間固定設置有內密封環，所述陽極板頂部固定設置有電鍍水槽，所述電鍍水槽一側固定設置有外密封環；

所述吹風室包括第三固定架，所述第三固定架頂部和底部均固定設置有風刀底座，所述風刀底座之間固定設置有風刀口，所述風刀口頂部兩側分別固定設置有第一擋風板和第二擋風板；

所述紅外干燥室包括第四固定架，所述第四固定架兩側表面貫穿設置有若干穿孔，所述第四固定架一側固定設置有限位彈簧，所述限位彈簧上固定安裝有彈性鈕，所述彈性鈕之間固定連接有加熱燈管，所述第四固定架頂部固定設置有吊軌，所述吊軌底部滑動設置有鼓風機通管；

所述第一固定架、第二固定架、第三固定架、第四固定架之間均固定通過連接桿相連接。