[實用新型]枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置

有效

• 申請號: 201822201167.0
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209352989U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 簡健哲;陳瀅如
• 申請（專利權）人: 安徽宏實自動化裝備有限公司
• 主分類號: C25D19/00
• 分類號: C25D19/00;C25D17/00;C25D7/12;C25D5/50
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

1.枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置，其特征在于，包括傳動機構(1)、第一沖洗室(2)、蝕刻室(3)、第二沖洗室(4)、第三沖洗室(5)、電鍍室(6)、第四沖洗室(7)、第五沖洗室(8)、吹風室(9)和紅外干燥室(10)；

所述傳動機構(1)包括入料傳送開口(11)和出料傳送開口(12)，所述入料傳送開口(11)和出料傳送開口(12)底部均固定設置有第一電機(13)和傳動裝置(14)，所述傳動裝置(14)上部固定設置有支撐板(15)，所述傳動裝置(14)與支撐板(15)中部水平設置的傳動輥(16)聯動；

所述第一沖洗室(2)和第三沖洗室(5)均包括去離水箱(17)，第二沖洗室(4)、第四沖洗室(7)和第五沖洗室(8)均包括市水箱(18)，所述去離水箱(17)和市水箱(18)頂部均固定設置有第一固定架(19)，所述第一固定架(19)頂部中間位置兩端均開設有螺紋滑槽(20)，所述螺紋滑槽(20)之間設置有相匹配的螺紋桿(21)，所述螺紋桿(21)頂部固定連接有第二電機(22)的輸出軸；

所述蝕刻室(3)包括藥液箱(27)，所述藥液箱(27)上方固定設置有第二固定架(28)，所述第二固定架(28)頂部固定設置有滑槽板(29)，所述滑槽板(29)中間位置固定設置有限位板(291)，所述滑槽板(29)內兩端均固定設置有第一氣泵(30)，所述第一氣泵(30)輸出端固定連接有第一伸縮桿(31)，所述第一伸縮桿(31)固定連接有滑塊(32)；

所述電鍍室(6)包括槽體(38)，所述槽體(38)上方固定設置有陽極板(39)，所述陽極板(39)與槽體(38)之間固定設置有內密封環(40)，所述陽極板(39)頂部固定設置有電鍍水槽(41)，所述電鍍水槽(41)一側固定設置有外密封環(42)；

所述吹風室(9)包括第三固定架(43)，所述第三固定架(43)頂部和底部均固定設置有風刀底座(44)，所述風刀底座(44)之間固定設置有風刀口(45)，所述風刀口(45)頂部兩側分別固定設置有第一擋風板(46)和第二擋風板(47)；

所述紅外干燥室(10)包括第四固定架(50)，所述第四固定架(50)兩側表面貫穿設置有若干穿孔(51)，所述第四固定架(50)一側固定設置有限位彈簧(52)，所述限位彈簧(52)上固定安裝有彈性鈕(53)，所述彈性鈕(53)之間固定連接有加熱燈管(54)，所述第四固定架(50)頂部固定設置有吊軌(55)，所述吊軌(55)底部滑動設置有鼓風機通管(56)；

所述第一固定架(19)、第二固定架(28)、第三固定架(43)、第四固定架(50)和電鍍水槽(41)之間均固定通過連接桿(61)相連接，第一噴嘴(26)與第二噴嘴(37)設置于同一水平線，所述第一固定架(19)、第二固定架(28)、第三固定架(43)、第四固定架(50)和電鍍水槽(41)的底面均固定設置于支撐板(15)的頂部。

2.根據權利要求1所述的枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置,其特征在于，所述第二電機(22)頂部設置有防塵蓋(23)，所述防塵蓋(23)底部兩端固定連接有貫穿螺紋滑槽(20)的吊桿(24)，所述吊桿(24)底部固定設置有第一噴嘴固定座(25)，所述第一噴嘴固定座(25)側面固定設置有第一噴嘴(26)。

3.根據權利要求1所述的枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置,其特征在于，所述滑塊(32)底部貫穿滑槽板(29)固定連接有第二氣泵(33)，所述第二氣泵(33)底部輸出端連接第二伸縮桿(34)，所述第二伸縮桿(34)底部一側固定設置有毛刷(35)，所述毛刷(35)一側設置有第二噴嘴固定座(36)，所述第二噴嘴固定座(36)底部側面設置有第二噴嘴(37)，所述第二噴嘴(37)與藥液箱(27)之間的管路螺旋式回轉連接。

4.根據權利要求1所述的枚葉水平輸送式的晶圓電鍍裝置,其特征在于，所述第一擋風板(46)和第二擋風板(47)兩端均通過擋風板固定桿(48)連接至風刀底座(44)頂部的通孔，所述擋風板固定桿(48)兩端轉動設置有限位螺栓(49)。