[實用新型]激光平行度檢測儀

有效

• 申請號: 201822196614.8
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN209246966U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 張曙光
• 申請（專利權）人: 茂萊(南京)儀器有限公司
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 李倩

本實用新型公開了一種激光平行度檢測儀，包括激光干涉系統和工作臺，所述激光干涉系統包括檢測光路和參考光路，所述工作臺包括用于承載被測件的移動平臺和用于反射激光的平行平板玻璃；所述平行平板玻璃在檢測光路中對激光反射；還包括用于對檢測光路和參考光路的圖像進行采集和顯示的采集顯示裝置。本實用新型利用激光干涉原理檢測零件平行度的裝置，以激光的半波長為計量單位，對被測面進行非接觸掃描。檢測的精度達到亞微米級。提高了檢測的精度，可靠性和效率。能夠滿足高精度零件平行度的檢測。

技術領域

本實用新型涉及激光平行度檢測儀，屬于光學檢測領域。

背景技術

目前對于要求高的零件平行度的測試，多采用三坐標測量儀或高精度的測高儀在被測面上隨機抽查若干個點的方法來確定被側面的空間位置。可以看出，除非被側面是嚴格的鏡面，否則，所定義的面并非實際的安裝面。實際的安裝面是由被側面上三個最高點確定的。使用上述儀器隨機測得的點，不可能正好都是被側面上的最高點。所測得的結果必然存在偏差。同時，這種測量方法費力費時，效率很低。不可能對批量零件進行全檢。

實用新型內容

實用新型目的：本實用新型所要解決的技術問題是提供激光平行度檢測儀，該系統以激光的半波長為計量單位，對被測面進行非接觸掃描。檢測的精度達到亞微米級。提高了檢測的精度，可靠性和效率。能夠滿足高精度零件平行度的檢測。

為了達到上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：

激光平行度檢測儀，包括激光干涉系統和工作臺，所述激光干涉系統包括檢測光路和參考光路，所述工作臺包括用于承載被測件的移動平臺和用于反射激光的平行平板玻璃；所述平行平板玻璃在檢測光路中對激光反射；還包括用于對檢測光路和參考光路的圖像進行采集和顯示的采集顯示裝置。

其中，所述檢測光路包括激光器、偏振片I、分束鏡、波片I和反射鏡，激光器發出的激光依次穿過偏振片I、分束鏡、波片I后由反射鏡反射到平行平板玻璃上，激光由平行平板玻璃反射后原路返回到分束鏡上并由分束鏡90度反射形成檢測光；所述參考光路包括波片II和參考鏡，激光器發出的激光經過偏振片I后由分束鏡部分反射后經過波片II后由參考鏡原路反射，反射的激光再次返回到分束鏡后部分透射形成參考光；檢測光和參考光形成干涉光并由采集顯示裝置進行采集和顯示。

其中，所述采集顯示裝置包括攝像機和顯示屏，攝像機采集干涉光并將圖像發送給顯示屏顯示；所述攝像機前端還放置有偏振片II。

其中，所述移動平臺包括固定部和移動部，移動部通過氣動方式相對固定部水平移動；固定部底端固定連接有底座；移動部上放置有被測件，被測件上放置有平行平板玻璃。

與現有技術相比，本實用新型具有的有益效果是：

本實用新型利用激光干涉原理檢測零件平行度的裝置，以激光的半波長為計量單位，對被測面進行非接觸掃描。檢測的精度達到亞微米級。提高了檢測的精度，可靠性和效率。能夠滿足高精度零件平行度的檢測。

附圖說明

圖1為本實用新型激光平行度檢測儀的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合說明書附圖對本實用新型作進一步的說明。

如圖1所示，本實用新型激光平行度檢測儀，包括激光干涉系統和工作臺，激光干涉系統包括檢測光路和參考光路，工作臺包括用于承載被測件11的移動平臺12和用于反射激光的平行平板玻璃10；平行平板玻璃10在檢測光路中對激光反射；還包括用于對檢測光路和參考光路的圖像進行采集和顯示的采集顯示裝置。

其中，檢測光路包括激光器1、偏振片I2、分束鏡3、波片I6和反射鏡7。