[實用新型]激光平行度檢測儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822196614.8 | 申請日： | 2018-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN209246966U | 公開（公告）日： | 2019-08-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張曙光 | 申請（專利權(quán)）人： | 茂萊(南京)儀器有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/26 | 分類號： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李倩 |
| 地址： | 211102 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 檢測光 激光干涉系統(tǒng) 平行度檢測儀 平行平板玻璃 本實用新型 激光 參考光路 平行度 工作臺 檢測 采集顯示裝置 非接觸掃描 高精度零件 反射激光 激光反射 激光干涉 計量單位 檢測零件 亞微米級 移動平臺 半波長 被測件 被測面 承載 采集 圖像 | ||
1.激光平行度檢測儀，其特征在于：包括激光干涉系統(tǒng)和工作臺，所述激光干涉系統(tǒng)包括檢測光路和參考光路，所述工作臺包括用于承載被測件的移動平臺和用于反射激光的平行平板玻璃；所述平行平板玻璃在檢測光路中對激光反射；還包括用于對檢測光路和參考光路的圖像進行采集和顯示的采集顯示裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光平行度檢測儀，其特征在于：所述檢測光路包括激光器、偏振片I、分束鏡、波片I和反射鏡，激光器發(fā)出的激光依次穿過偏振片I、分束鏡、波片I后由反射鏡反射到平行平板玻璃上，激光由平行平板玻璃反射后原路返回到分束鏡上并由分束鏡90度反射形成檢測光；所述參考光路包括波片II和參考鏡，激光器發(fā)出的激光經(jīng)過偏振片I后由分束鏡部分反射后經(jīng)過波片II后由參考鏡原路反射，反射的激光再次返回到分束鏡后部分透射形成參考光；檢測光和參考光形成干涉光并由采集顯示裝置進行采集和顯示。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光平行度檢測儀，其特征在于：所述采集顯示裝置包括攝像機和顯示屏，攝像機采集干涉光并將圖像發(fā)送給顯示屏顯示；所述攝像機前端還放置有偏振片II。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光平行度檢測儀，其特征在于：所述移動平臺包括固定部和移動部，移動部通過氣動方式相對固定部水平移動；固定部底端固定連接有底座；移動部上放置有被測件，被測件上放置有平行平板玻璃。
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