[實用新型]一種集成式進(jìn)氣排氣裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822196399.1
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209071288U
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張爽;魏猛
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯達(dá)科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 孫奇

1.一種集成式進(jìn)氣排氣裝置，其特征在于：包括集成塊、上密封圈、壓板、壓環(huán)、下密封圈，托板、隔板；

所述隔板安裝于托板的階梯面上，壓板放置于托板的上表面，通過壓環(huán)將壓板壓緊，并與托板固定；

所述集成塊固定于壓板中心表面相對位置，其中隔板與壓板間形成氣體流動空間，稱之為排氣腔；隔板與托板間形成氣體流動空間，稱之為進(jìn)氣腔；

所述集成塊具有進(jìn)氣通道和排氣通道，并且集成塊的進(jìn)氣通道與進(jìn)氣腔相通，集成塊的排氣通道與排氣腔相通；

所述進(jìn)氣通道與排氣通道互不相通；

所述托板上設(shè)有排氣槽，隔板上設(shè)有排氣孔；

所述集成塊與壓板接觸的表面開有凹槽，用于安裝上密封圈，保證集成塊與壓板間的緊密配合，無氣體泄漏；

所述托板與壓板的接觸面開有凹型槽，用于安裝下密封圈，保證托板與壓板間緊密配合，無氣體泄漏；

所述壓環(huán)與托板通過手動旋鈕固定。

2.如權(quán)利要求1所述的一種集成式進(jìn)氣排氣裝置，其特征在于：所述進(jìn)氣通道口和排氣通道口可設(shè)置在集中塊的側(cè)面或上面，且進(jìn)氣通道和排氣通道的結(jié)構(gòu)可多樣化。

3.如權(quán)利要求1所述的一種集成式進(jìn)氣排氣裝置，其特征在于：所述壓板和托板的形狀可根據(jù)整體布局進(jìn)行選擇。

4.如權(quán)利要求1所述的一種集成式進(jìn)氣排氣裝置，其特征在于：所述排氣槽的數(shù)量可根據(jù)實際需求選擇，排列可圓周排列、線性排列或不規(guī)則排列，排氣孔的數(shù)量與排列與排氣槽一一對應(yīng)，且排氣孔與排氣槽相通。

5.如權(quán)利要求1所述的一種集成式進(jìn)氣排氣裝置，其特征在于：所述壓環(huán)為整體結(jié)構(gòu)或分體結(jié)構(gòu)，形狀為任意形狀，根據(jù)整體布局進(jìn)行選擇。