[實用新型]一種掩膜版條紋檢查輔助夾具

有效

• 申請號: 201822195058.2
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209118053U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 林偉;孫多衛
• 申請（專利權）人: 成都路維光電有限公司
• 主分類號: G03F1/84
• 分類號: G03F1/84
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 胡曉麗

本實用新型公開了一種掩膜版條紋檢查輔助夾具，解決了現有手工持手電筒檢驗條紋過程中刮傷產品風險非常大而且不可控制問題。本實用新型包括“U型”的底座，底座兩側均通過第一軸承連接有支架體，兩個支架體之間用于固定掩膜版，兩個支架體上設置有用于連接兩個支架體的夾具，夾具為一個橫桿，且橫桿兩側設置有卡塊，夾具大小吻合卡扣在兩個支架體上且沿支架體軸向方向移動；橫桿底部設置有滑槽，滑槽上設置有滑塊，滑塊一端凸出滑槽，滑塊底部兩側通過彈性裝置連接有連接塊，兩個連接塊之間設置有第二軸承，第二軸承上設置有光源；貫穿滑塊的凸出部分向下設置軸孔，軸孔內用于放置頂絲，且頂絲通過旋入或者旋出軸孔來調節光源與掩膜版的距離。

技術領域

本實用新型涉及掩膜版制造技術領域，具體涉及一種掩膜版條紋檢查輔助夾具。

背景技術

隨著越來越多的國內顯示面板廠商量產TFT LCD五代線，光掩膜的需求量在近幾年將呈現跳躍式地上升。光掩膜版是制作微細光掩膜圖形的理想感光性空白板，通過光刻制版工藝可以獲得所需光掩膜版。目前，掩膜版條紋缺陷一直是TFT掩膜版缺陷控制的難點，行業目前的檢驗方法是用特定波長手電筒，照射產品膜面和非膜面，從多個角度依靠人肉眼來檢驗條紋。

然而，檢驗條紋時，手電筒會距離掩膜版非常近，大約在10mm，隨著掩膜版尺寸越來越大，尤其是G10代掩膜版已經達到1620x1780超大尺寸，靠員工手持手電筒檢驗條紋的方法已經不太適用，因為員工操作過程中刮傷產品的風險非常大而且不可控制，由于掩膜版價格非常昂貴，一旦發生刮傷情況會給公司帶來巨大的財產損失，所以非常迫切的需要一種新的條紋檢驗方法來代替手持式檢驗。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：現有的手工持手電筒檢驗條紋的過程中刮傷產品的風險非常大而且不可控制問題，本實用新型提供了解決上述問題的一種掩膜版條紋檢查輔助夾具，減少肉眼看條紋時人員對產品造成的磕碰風險，利用這種輔助半自動檢驗設備，來輔助人工肉眼檢查條紋，降低人員操作不當造成的磕碰風險。

本實用新型通過下述技術方案實現：

一種掩膜版條紋檢查輔助夾具，包括“U型”的底座，所述底座兩側均通過第一軸承連接有支架體，兩個所述支架體之間用于固定掩膜版，兩個所述支架體上設置有用于連接兩個所述支架體的夾具，所述夾具為一個橫桿，且所述橫桿兩側設置有卡塊，所述夾具的大小吻合卡扣在兩個所述支架體上且沿所述支架體軸向方向移動；所述橫桿底部設置有滑槽，所述滑槽上設置有滑塊，所述滑塊一端凸出所述滑槽，所述滑塊底部兩側通過彈性裝置連接有連接塊，兩個所述連接塊之間設置有第二軸承，所述第二軸承上設置有光源；貫穿所述滑塊的凸出部分向下設置軸孔，所述軸孔內用于放置頂絲，且所述頂絲通過旋入或者旋出所述軸孔來調節所述光源與掩膜版的距離。