[實用新型]一種掩膜版條紋檢查輔助夾具

有效

• 申請號: 201822195058.2
• 申請日: 2018-12-26
• 公開（公告）號: CN209118053U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 林偉;孫多衛
• 申請（專利權）人: 成都路維光電有限公司
• 主分類號: G03F1/84
• 分類號: G03F1/84
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 胡曉麗

1.一種掩膜版條紋檢查輔助夾具，包括“U型”的底座(1)，所述底座(1)兩側均通過第一軸承(2)連接有支架體(3)，其特征在于：兩個所述支架體(3)之間用于固定掩膜版(15)，兩個所述支架體(3)上設置有用于連接兩個所述支架體(3)的夾具，所述夾具為一個橫桿(4)，且所述橫桿(4)兩側設置有卡塊(5)，所述夾具的大小吻合卡扣在兩個所述支架體(3)上且沿所述支架體(3)軸向方向移動；所述橫桿(4)底部設置有滑槽(6)，所述滑槽(6)上設置有滑塊(7)，所述滑塊(7)一端凸出所述滑槽(6)，所述滑塊(7)底部兩側通過彈性裝置(8)連接有連接塊(9)，兩個所述連接塊(9)之間設置有第二軸承(10)，所述第二軸承(10)上設置有光源(11)；貫穿所述滑塊(7)的凸出部分向下設置軸孔，所述軸孔內用于放置頂絲(12)，且所述頂絲(12)通過旋入或者旋出所述軸孔來調節所述光源(11)與掩膜版(15)的距離。

2.根據權利要求1所述的一種掩膜版條紋檢查輔助夾具，其特征在于：所述支架體(3)為長條形的桿體，兩個所述支架體(3)正對的一側均設置有卡槽(13)，所述卡槽(13)上設置有卡座(14)，所述卡座(14)一端具有與所述卡槽(13)大小配合使用的卡進部、另一端設置有用于固定掩膜版(15)的承載臺。

3.根據權利要求2所述的一種掩膜版條紋檢查輔助夾具，其特征在于：所述卡槽(13)形狀為燕尾形，且所述卡槽(13)沿所述支架體(3)從一端延伸到另一端；所述卡槽(13)上的卡座(14)的數量設置兩個。

4.根據權利要求1所述的一種掩膜版條紋檢查輔助夾具，其特征在于：所述滑槽(6)的長度不大于兩個所述支架體(3)內側之間的距離。

5.根據權利要求1所述的一種掩膜版條紋檢查輔助夾具，其特征在于：所述彈性裝置(8)采用彈簧。