[實用新型]一種非接觸式平面度測量裝置

有效

• 申請號: 201822192108.1
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209279923U
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 姚建政;楊濤
• 申請（專利權）人: 天活松林光學（廣州）有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 譚英強

本實用新型公開了一種非接觸式平面度測量裝置，包括底座及設置在底座上的載物臺，載物臺通過橫向滑移結構進行橫向移動，還包括依次設置在載物臺上方的色散鏡頭和光纖頭，光纖頭通過光纖連接光源，光纖頭通過光纖連接光譜接收器和光譜處理設備，此非接觸式平面度測量裝置及測量方法，將待檢測工件放置在載物臺，而后打開光源和光纖頭，光譜處理設備即可利用反射的光波獲得檢測數據，通過移動載物臺獲得多個檢測點高度值，光譜處理設備比較數據即可得到平面度，測量操作簡單快捷，測量精度高，此實用新型用于鏡片檢測領域。

技術領域

本實用新型涉及鏡片檢測領域，特別是涉及一種非接觸式平面度測量裝置。

背景技術

現有測量平面度的方法主要有：a、接觸式傳感器測量方法。此方法需要接觸到被測量面，且需要一定的壓力，對面精度高或材質軟的產品容易造成損壞。b、非接觸式干涉儀測量方法。此方法精度高，只適用于較高精度的產品，對于平面度不高的產品因干涉條紋的密集而無法分辨，致難以測量；因鏡頭尺寸的限制，對于大尺寸的產品也難以實現。c、非接觸影像式測量方法。此方法根據對被測表面的影像進行對焦測量，因光學系統景深的原因，此測量方法測量精度不高。

目前，尚未有一種可以快速地非接觸式地測量各種大小尺寸的產品的平面度測量裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種測量安全性高、測量精度高的非接觸式平面度測量裝置。

本實用新型所采取的技術方案是：

一種非接觸式平面度測量裝置，包括底座及設置在底座上的載物臺，載物臺通過橫向滑移結構進行橫向移動，還包括依次設置在載物臺上方的色散鏡頭和光纖頭，光纖頭通過光纖連接光源，光纖頭通過光纖連接光譜接收器和光譜處理設備。

進一步作為本實用新型技術方案的改進，底座上設有豎向的滑軌、與滑軌滑動連接的滑塊以及用于驅動滑塊的驅動結構，滑塊上設有鏡頭座，色散鏡頭位于鏡頭座上。

進一步作為本實用新型技術方案的改進，滑塊包括與滑軌滑動連接的主滑塊，還包括橫向設置在主滑塊上的次滑塊，主滑塊和次滑塊之間設有連接板。

進一步作為本實用新型技術方案的改進，驅動結構為滾珠絲杠結構。

進一步作為本實用新型技術方案的改進，光譜處理設備為計算機。

進一步作為本實用新型技術方案的改進，光纖為Y形光纖。

進一步作為本實用新型技術方案的改進，光纖為石英光纖。

本實用新型的有益效果：此非接觸式平面度測量裝置，將待檢測工件放置在載物臺，而后打開光源和光纖頭，光譜處理設備即可利用反射的光波獲得檢測數據，通過移動載物臺獲得多個檢測點高度值，光譜處理設備比較數據即可得到平面度，測量操作簡單快捷，測量精度高。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：

圖1是本實用新型實施例的設備原理圖；

圖2是本實用新型實施例的側視圖；

圖3是本實用新型實施例的主視圖；

圖4是本實用新型實施例的光波原理圖；

具體實施方式

參照圖1～圖4，本實用新型為一種非接觸式平面度測量裝置，包括底座1及設置在底座1上的載物臺2，載物臺2通過橫向滑移結構進行橫向移動，還包括依次設置在載物臺2上方的色散鏡頭3和光纖頭4，光纖頭4通過光纖6連接光源5，光纖頭4通過光纖6連接光譜接收器7和光譜處理設備8。