[實用新型]一種非接觸式平面度測量裝置有效
| 申請號： | 201822192108.1 | 申請日： | 2018-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN209279923U | 公開（公告）日： | 2019-08-20 |
| 發明（設計）人： | 姚建政;楊濤 | 申請（專利權）人： | 天活松林光學（廣州）有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/30 | 分類號： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 譚英強 |
| 地址： | 511434 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光纖頭 平面度測量裝置 光譜處理設備 非接觸式 載物臺 光纖連接 底座 光源 橫向滑移結構 本實用新型 測量精度高 光譜接收器 移動載物臺 比較數據 測量操作 檢測工件 檢測數據 鏡片檢測 依次設置 光波 檢測點 平面度 色散 載物 反射 測量 鏡頭 | ||
【權利要求書】：
1.一種非接觸式平面度測量裝置，其特征在于：包括底座及設置在所述底座上的載物臺，所述載物臺通過橫向滑移結構進行橫向移動，還包括依次設置在所述載物臺上方的色散鏡頭和光纖頭，所述光纖頭通過光纖連接光源，所述光纖頭通過光纖連接光譜接收器和光譜處理設備。
2.根據權利要求1所述的非接觸式平面度測量裝置，其特征在于：所述底座上設有豎向的滑軌、與所述滑軌滑動連接的滑塊以及用于驅動滑塊的驅動結構，所述滑塊上設有鏡頭座，所述色散鏡頭位于所述鏡頭座上。
3.根據權利要求2所述的非接觸式平面度測量裝置，其特征在于：所述滑塊包括與滑軌滑動連接的主滑塊，還包括橫向設置在所述主滑塊上的次滑塊，所述主滑塊和次滑塊之間設有連接板。
4.根據權利要求2所述的非接觸式平面度測量裝置，其特征在于：所述驅動結構為滾珠絲杠結構。
5.根據權利要求1所述的非接觸式平面度測量裝置，其特征在于：所述光譜處理設備為計算機。
6.根據權利要求1所述的非接觸式平面度測量裝置，其特征在于：所述光纖為Y形光纖。
7.根據權利要求1所述的非接觸式平面度測量裝置，其特征在于：所述光纖為石英光纖。
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