[實用新型]一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具

有效

• 申請號: 201822188460.8
• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN209380647U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 楊鵬
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: B25B27/00
• 分類號: B25B27/00;H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本實用新型提供了一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，屬于半導體設備制造的技術領域。一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具包括放置于密封腔上且兩側帶有底座的支架，支架上設置有螺旋傳動機構，螺旋傳動機構的絲桿上設置有扳手，且在絲桿上還螺紋套設有撬片，撬片的一側伸出支架與上部蓋板的側壁上的凹槽配合，結構簡單；本實用新型通過設置支架和螺旋傳動機構，將小扭矩轉化成沿絲桿軸向的大的軸向力，解決了由于密封圈老化，上部蓋板和密封腔粘合而難以開啟的問題，同時，通過絲桿的自鎖功能，能防止上部蓋板撬開后自動回位，安全保障性更高，并且無需借助工具便可單人手動操作，操作便捷，實用性和使用效率更高，更利于行業的發展。

技術領域

本實用新型涉及半導體設備制造的技術領域，具體是涉及一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具。

背景技術

對于密封設備而言，為保證其密封性，通常在其開口和蓋之間設置有密封圈。蝕刻設備設置有密封腔，且密封腔通過上部蓋板進行封口，且在密封腔和上部蓋板之間設置有密封圈。在使用時，密封腔的腔體內溫度維持在60℃的高溫范圍內，且腔體內部還存在等離子和腐蝕性氣體，導致密封圈在長時間使用后，會在高溫、等離子以及腐蝕性氣體的作用下老化，從而使得上部蓋板和密封腔粘合在一起，并且由于上部蓋板本身質量為20KG，導致在維護保養時，上部蓋板難以從密封腔上取下，給維護造成了較大的困難。雖然目前制造廠商提供了拆卸工具，但由于結構的限制，不僅重量中，而且操作復雜，還需要使用輔助工具再能完成操作，時間浪費嚴重，不利于行業的發展。

發明內容

針對現有技術中存在的上述問題，現旨在提供一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，以設置一可固定的支架，并于支架上設置螺旋傳動機構，通過將支架固定于密封腔上，再將螺旋傳統機構中的撬片伸入上部蓋板側邊上的凹槽內，通過扭轉螺旋傳動機構實現撬片遠離或靠近密封腔，從而帶動上部蓋板運動，從而實現上部蓋板的拆卸，結構簡單，質量輕，便于使用，且可一人手動操作，無需借助工具，便能輕松撬開上部蓋板，效率更高，更利于行業發展。

具體技術方案如下：

一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，具有這樣的特征，包括：支架和螺旋傳動機構，其中，

支架一側面形狀呈“幾”字形設置，支架包括底座、側板以及頂板，底座設置有兩個，且兩底座間隔設置，并且每一底座上分別設置有一垂直的側板，兩側板的頂部設置有頂板，頂板的兩端分別連接于兩側板上，并且頂板的中間開設有一通孔；

螺旋傳動機構包括絲桿、撬片以及扳手，絲桿一端穿過頂板上的通孔至頂板的下方，且絲桿穿過通孔的一端延伸至兩底座形成的平面處，絲桿的軸線方向平行于側板的同時還垂直于底座，并且絲桿上螺紋套設有一撬片，撬片位于頂板的下方，撬片的一側伸出側板的側邊，同時，在絲桿上且位于頂板的上方設置有扳手。

上述的一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其中，每一底座上均開設有固定孔，固定孔與密封腔的上部接觸面上的螺絲對應。

上述的一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其中，撬片呈矩形的板狀設置，且撬片設置于兩側板之間，撬片的對角線長度長于兩側板之間的距離長度。

上述的一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其中，兩側板之間設置有加強板，加強板的兩端分別連接于兩側板的側邊上，加強板的頂部連接于頂板的底面上，同時，加強板位于側板背離撬片伸出的一側。

上述的一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其中，絲桿上套設有撬片的一端的端部設置有限位頂塊，限位頂塊的尺寸大于絲桿的直徑尺寸。

上述的一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其中，絲桿上且位于頂板的上方的側壁上開設有一扳手孔，扳手孔沿絲桿徑向貫穿絲桿。

上述的一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其中，扳手呈棒狀設置，扳手插設在絲桿的扳手孔中。