[實用新型]一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具有效
| 申請號： | 201822188460.8 | 申請日： | 2018-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN209380647U | 公開（公告）日： | 2019-09-13 |
| 發明（設計）人： | 楊鵬 | 申請（專利權）人： | 上海華力集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | B25B27/00 | 分類號： | B25B27/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 201315 上海市浦東新區中國（上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 上部蓋板 密封腔 支架 螺旋傳動機構 拆卸工具 蝕刻設備 絲桿 本實用新型 撬片 密封圈 半導體設備制造 安全保障 凹槽配合 使用效率 自動回位 自鎖功能 螺紋套 絲桿軸 小扭矩 軸向力 扳手 粘合 側壁 撬開 底座 老化 伸出 轉化 | ||
1.一種蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其特征在于，包括：支架和螺旋傳動機構，其中，
所述支架一側面形狀呈“幾”字形設置，所述支架包括底座、側板以及頂板，所述底座設置有兩個，且兩所述底座間隔設置，并且每一所述底座上分別設置有一垂直的所述側板，兩所述側板的頂部設置有所述頂板，所述頂板的兩端分別連接于兩所述側板上，并且所述頂板的中間開設有一通孔；
所述螺旋傳動機構包括絲桿、撬片以及扳手，所述絲桿一端穿過所述頂板上的所述通孔至所述頂板的下方，且所述絲桿穿過所述通孔的一端延伸至兩所述底座形成的平面處，所述絲桿的軸線方向平行于所述側板的同時還垂直于所述底座，并且所述絲桿上螺紋套設有一所述撬片，所述撬片位于所述頂板的下方，所述撬片的一側伸出所述側板的側邊，同時，在所述絲桿上且位于所述頂板的上方設置有所述扳手。
2.根據權利要求1所述的蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其特征在于，每一所述底座上均開設有固定孔，所述固定孔與密封腔的上部接觸面上的螺絲對應。
3.根據權利要求1所述的蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其特征在于，所述撬片呈矩形的板狀設置，且所述撬片設置于兩所述側板之間，所述撬片的對角線長度長于兩所述側板之間的距離長度。
4.根據權利要求1所述的蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其特征在于，兩所述側板之間設置有加強板，所述加強板的兩端分別連接于兩所述側板的側邊上，所述加強板的頂部連接于所述頂板的底面上，同時，所述加強板位于所述側板背離所述撬片伸出的一側。
5.根據權利要求1所述的蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其特征在于，所述絲桿上套設有所述撬片的一端的端部設置有限位頂塊，所述限位頂塊的尺寸大于所述絲桿的直徑尺寸。
6.根據權利要求1所述的蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其特征在于，所述絲桿上且位于所述頂板的上方的側壁上開設有一扳手孔，所述扳手孔沿所述絲桿徑向貫穿所述絲桿。
7.根據權利要求6所述的蝕刻設備密封腔上部蓋板的拆卸工具，其特征在于，所述扳手呈棒狀設置，所述扳手插設在所述絲桿的所述扳手孔中。
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