[實用新型]一種太陽能硅片的吸盤裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201822185776.1 | 申請日： | 2018-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN209071303U | 公開（公告）日： | 2019-07-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 施魯鳴;呂群峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 嘉興市耐思威精密機械有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京華仲龍騰專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李靜 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 吸盤 吸盤裝置 前表面 密封圈 本實用新型 太陽能硅片 通氣孔 吸盤部 蓋板 吸力 精度要求 漏氣現(xiàn)象 制造過程 安裝孔 安裝室 密封性 真空室 制造 | ||
1.一種太陽能硅片的吸盤裝置，包括安裝部（7）和吸盤部（8），所述安裝部（7）設(shè)有吸盤（1），吸盤（1）前表面設(shè)2-4個有安裝孔（1a），其特征在于，所述吸盤（1）前表面中間內(nèi)部設(shè)有通氣孔（1b），通氣孔（1b）外表面設(shè)有密封圈安裝室（1g），所述吸盤部（8）設(shè)有蓋板（2），蓋板（2）下方前表面中間內(nèi)部設(shè)有真空室（1e）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能硅片的吸盤裝置，其特征在于，所述吸盤（1）與蓋板（2）之間固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能硅片的吸盤裝置，其特征在于，所述真空室（1e）的數(shù)量為1-5個，并且真空室（1e）中間內(nèi)部設(shè)有氣流道（1d）。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的太陽能硅片的吸盤裝置，其特征在于，所述氣流道（1d）上方與通氣孔（1b）相互連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能硅片的吸盤裝置，其特征在于，所述密封圈安裝室（1g）內(nèi)部安裝有密封圈（6）。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
