[實(shí)用新型]一種負(fù)壓檢測裝置和監(jiān)控設(shè)備

有效

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• 申請日: 2018-12-25
• 公開（公告）號: CN209459814U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王青敬
• 申請（專利權(quán)）人: 惠科股份有限公司
• 主分類號: G01L19/06
• 分類號: G01L19/06;C23C16/52
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44240
• 代理人: 邢濤

本實(shí)用新型公開了一種負(fù)壓檢測裝置和監(jiān)控設(shè)備。一種負(fù)壓檢測裝置，包括：連接于所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備上的吹氣結(jié)構(gòu)；連接于所述吹氣結(jié)構(gòu)與所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備的連接處的檢測管，引導(dǎo)化學(xué)氣相沉膜設(shè)備中的氣體進(jìn)入所述負(fù)壓檢測裝置來檢測對應(yīng)位置的氣壓；纏繞包裹在所述檢測管表面的加熱帶，加熱所述檢測管。在化學(xué)氣相沉膜設(shè)備工作過程中會產(chǎn)生一些粉末，粉末會隨著氣體進(jìn)入到檢測管中，然后會粘附在檢測管的管壁上，隨著慢慢的積累會將檢測管堵塞，現(xiàn)在在檢測管外側(cè)設(shè)置一個(gè)加熱帶，對加熱管進(jìn)行加熱，使管壁溫度升高，防止粉末粘附在管壁上堵塞檢測管。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種負(fù)壓檢測裝置和監(jiān)控設(shè)備。

背景技術(shù)

化學(xué)氣相沉積是一種化工技術(shù)，該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法。化學(xué)氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機(jī)材料的新技術(shù)。化學(xué)氣相淀積法已經(jīng)廣泛用來提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機(jī)薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的淀積過程精確控制。化學(xué)氣相淀積已成為無機(jī)合成化學(xué)的一個(gè)新領(lǐng)域。

在鍍膜的過程中，檢測管路容易堵住，導(dǎo)致機(jī)械停機(jī)，造成產(chǎn)能下降和人力作業(yè)分配浪費(fèi)。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種防止檢測管堵塞的負(fù)壓檢測裝置和監(jiān)控設(shè)備。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種負(fù)壓檢測裝置，應(yīng)用于化學(xué)氣相沉膜設(shè)備，包括：連接于所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備上的吹氣結(jié)構(gòu)；連接于所述吹氣結(jié)構(gòu)與所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備的連接處的檢測管，引導(dǎo)所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備中的氣體進(jìn)入所述負(fù)壓檢測裝置檢測對應(yīng)位置的氣壓；纏繞包裹在所述檢測管表面的加熱帶，加熱所述檢測管。

可選的，所述檢測管垂直于所述吹氣結(jié)構(gòu)的吹氣方向設(shè)置。

可選的，所述加熱帶完全包覆所述檢測管的外表面。

可選的，所述加熱帶包括加熱芯和包裹布，所述加熱芯設(shè)置在所述包裹布內(nèi)，再由所述包裹布包裹在檢測管上。

可選的，所述包裹布包括魔術(shù)貼，所述魔術(shù)貼設(shè)置在所述包裹布的內(nèi)外表面上。

可選的，所述檢測管包括過濾網(wǎng)，所述過濾網(wǎng)設(shè)置于所述檢測管的入口端。

可選的，所述過濾網(wǎng)以可拆卸方式設(shè)置在所述檢測管開口處。

可選的，所述加熱芯的加熱面為圓弧面。

本實(shí)用新型還公開了一種負(fù)壓檢測裝置，應(yīng)用于化學(xué)氣相沉膜設(shè)備，包括：連接于所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備上的吹氣結(jié)構(gòu)；連接于所述吹氣結(jié)構(gòu)與所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備的連接處的檢測管，引導(dǎo)所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備中的氣體進(jìn)入所述負(fù)壓檢測裝置檢測對應(yīng)位置的氣壓；纏繞包裹在所述檢測管表面的加熱帶，加熱所述檢測管；所述檢測管垂直于所述吹氣結(jié)構(gòu)的吹氣方向設(shè)置；所述加熱帶完全包覆所述檢測管的外表面；所述加熱帶包括加熱芯和包裹布，所述加熱芯設(shè)置在所述包裹布內(nèi)，再由所述包裹布包裹在檢測管上；所述包裹布包括魔術(shù)貼，所述魔術(shù)貼設(shè)置在所述包裹布的內(nèi)外表面上；所述加熱芯的加熱面為圓弧面。

本實(shí)用新型還公開了一種監(jiān)控設(shè)備，所述監(jiān)控設(shè)備包括上述的負(fù)壓檢測裝置。

本實(shí)用新型的有益效果是：在化學(xué)氣相沉膜設(shè)備工作過程中會產(chǎn)生一些粉末，粉末會隨著氣體進(jìn)入到檢測管中，然后會粘附在檢測管的管壁上，隨著慢慢的積累會將檢測管堵塞，現(xiàn)在在檢測管外側(cè)設(shè)置一個(gè)加熱帶，對加熱管進(jìn)行加熱，使管壁溫度升高，防止粉末粘附在管壁上堵塞檢測管。

附圖說明