[實用新型]一種負壓檢測裝置和監控設備有效
| 申請號： | 201822183973.X | 申請日： | 2018-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN209459814U | 公開（公告）日： | 2019-10-01 |
| 發明（設計）人： | 王青敬 | 申請（專利權）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分類號： | G01L19/06 | 分類號： | G01L19/06;C23C16/52 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞專利商標事務所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢濤 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區石巖街道水田村民*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測管 負壓檢測裝置 膜設備 管壁 吹氣結構 監控設備 加熱帶 粘附 加熱 本實用新型 堵塞檢測 外側設置 加熱管 氣壓 纏繞 堵塞 檢測 積累 | ||
1.一種負壓檢測裝置，應用于化學氣相沉膜設備，其特征在于，包括：
吹氣結構，連接于所述化學氣相沉膜設備上；
檢測管，連接于所述吹氣結構與所述化學氣相沉膜設備的連接處，引導所述化學氣相沉膜設備中的氣體進入所述負壓檢測裝置檢測對應位置的氣壓；
加熱帶，纏繞包裹在所述檢測管表面，加熱所述檢測管。
2.如權利要求1所述的一種負壓檢測裝置，其特征在于，所述檢測管垂直于所述吹氣結構的吹氣方向設置。
3.如權利要求1所述的一種負壓檢測裝置，其特征在于，所述加熱帶完全包覆所述檢測管的外表面。
4.如權利要求1所述的一種負壓檢測裝置，其特征在于，所述加熱帶包括加熱芯和包裹布，所述加熱芯設置在所述包裹布內，再由所述包裹布包裹在所述檢測管上。
5.如權利要求4所述的一種負壓檢測裝置，其特征在于，所述包裹布包括魔術貼，所述魔術貼設置在所述包裹布的內外表面上。
6.如權利要求1所述的一種負壓檢測裝置，其特征在于，所述檢測管包括過濾網，所述過濾網設置于所述檢測管的入口端。
7.如權利要求6所述的一種負壓檢測裝置，其特征在于，所述過濾網以可拆卸方式設置在所述檢測管開口處。
8.如權利要求4所述的一種負壓檢測裝置，其特征在于，所述加熱芯包括加熱面，所述加熱面形狀為圓弧狀。
9.一種負壓檢測裝置，應用于化學氣相沉膜設備，其特征在于，包括：
吹氣結構，連接于所述化學氣相沉膜設備上；
檢測管，連接于所述吹氣結構與所述化學氣相沉膜設備的連接處，引導所述化學氣相沉膜設備中的氣體進入所述負壓檢測裝置檢測對應位置的氣壓；
加熱帶，纏繞包裹在所述檢測管表面，加熱所述檢測管；
所述檢測管垂直于所述吹氣結構的吹氣方向設置；
所述加熱帶完全包覆所述檢測管的外表面；
所述加熱帶包括加熱芯和包裹布，所述加熱芯設置在所述包裹布內，再由所述包裹布包裹在所述檢測管上；
所述包裹布包括魔術貼，所述魔術貼設置在所述包裹布的內外表面上；
所述加熱芯包括加熱面，所述加熱面形狀為圓弧狀。
10.一種監控設備，其特征在于，所述監控設備包括如權利要求1至9任意一項所述的負壓檢測裝置。
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