[實(shí)用新型]硅片傳輸分選裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822174376.0
• 申請(qǐng)日: 2018-12-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209306450U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李峰;王迎松
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市聿知科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B65G47/46
• 分類(lèi)號(hào): B65G47/46
• 代理公司: 深圳壹舟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44331
• 代理人: 寇闖

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，提供一種硅片傳輸分選裝置，包括兩來(lái)料傳輸機(jī)構(gòu)、第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)、多個(gè)第二交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)、分選傳輸機(jī)構(gòu)以及傳輸線提升機(jī)。傳輸線提升機(jī)的輸出端連接于分選傳輸機(jī)構(gòu)。分選傳輸機(jī)構(gòu)包括兩分選傳輸鏈，兩分選傳輸鏈均具有多個(gè)分選工位，第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)包括兩第一交叉?zhèn)鬏旀湣?lái)料晶體硅片由來(lái)料傳輸機(jī)構(gòu)傳輸至第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)，并傳輸至對(duì)應(yīng)的分選工位上，當(dāng)分選傳輸機(jī)構(gòu)沿豎直方向上上移，來(lái)料晶體硅片沿分選傳輸鏈傳輸至其余的分選工位。當(dāng)分選傳輸機(jī)構(gòu)沿豎直方向上下移，各晶體硅片傳輸至對(duì)應(yīng)第二交叉?zhèn)鬏旀溕稀Ｔ摴杵瑐鬏敺诌x裝置實(shí)現(xiàn)來(lái)料晶體硅片由一路傳輸變成多路傳輸，分選轉(zhuǎn)運(yùn)效率更高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其提供一種硅片傳輸分選裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，對(duì)其生產(chǎn)過(guò)程中的自動(dòng)化程度以及清潔度也要求越來(lái)越高。例如，在晶體硅片的生產(chǎn)制造過(guò)程中，通常需要專(zhuān)用的輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行傳輸。在工序與工序之間通常需要進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn)分選，目前，大多采用人工輔助操作進(jìn)行分選，即人為地取放晶體硅片。這樣，導(dǎo)致分選效率低。因此，亟需解決晶體硅片在工序之間進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn)分選時(shí)因采用人工分選而導(dǎo)致的效率低的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的提供一種硅片傳輸分選裝置，旨在解決晶體硅片在工序之間進(jìn)行轉(zhuǎn)運(yùn)分選時(shí)因采用人工分選而導(dǎo)致的效率低的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：硅片傳輸分選裝置，包括兩來(lái)料傳輸機(jī)構(gòu)、第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)、多個(gè)沿硅片傳輸方向并排設(shè)置的第二交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)、分選傳輸機(jī)構(gòu)以及傳輸線提升機(jī)，所述傳輸線提升機(jī)的輸出端連接于所述分選傳輸機(jī)構(gòu)且可沿豎直方向升降移動(dòng)所述分選傳輸機(jī)構(gòu)，所述分選傳輸機(jī)構(gòu)包括平行且間隔設(shè)置的兩分選傳輸鏈，兩所述分選傳輸鏈均具有多個(gè)位置對(duì)應(yīng)的分選工位，所述第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)包括平行且間隔設(shè)置的兩第一交叉?zhèn)鬏旀湥龅谝唤徊鎮(zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)的兩所述第一交叉?zhèn)鬏旀溤O(shè)于其中一所述分選工位處且位于所述分選傳輸鏈的一側(cè)，所述第一交叉?zhèn)鬏旀湹膫鬏敹嗣娓哂谒龇诌x傳輸鏈的傳輸端面，兩所述來(lái)料傳輸機(jī)構(gòu)分別布設(shè)于所述第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)的相對(duì)兩端，各所述第二交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)均包括平行且間隔設(shè)置的兩第二交叉?zhèn)鬏旀湥魉龅诙徊鎮(zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)的兩所述第二交叉?zhèn)鬏旀湻謩e設(shè)于剩余的所述分選工位處且均位于所述分選傳輸鏈的另一側(cè)，各所述第二交叉?zhèn)鬏旀湹膫鬏敹嗣婢陀谒龇诌x傳輸鏈的傳輸端面。

具體地，所述分選傳輸機(jī)構(gòu)包括底板、多個(gè)第一側(cè)立板、多個(gè)與所述第一側(cè)立板相對(duì)應(yīng)的第二側(cè)立板、兩所述分選傳輸鏈以及分選驅(qū)動(dòng)電機(jī)，各所述第一側(cè)立板沿垂直于硅片傳輸方向間隔地立設(shè)于所述底板上，各所述第二側(cè)立板平行于對(duì)應(yīng)所述第一側(cè)立板且立設(shè)所述底板上，其中一所述分選傳輸鏈安裝于各所述第一側(cè)立板上且繞于所述分選驅(qū)動(dòng)電機(jī)的第一輸出端，另一所述分選傳輸鏈安裝于各所述第二側(cè)立板上且繞于所述分選驅(qū)動(dòng)電機(jī)的第二傳輸端，各所述第一側(cè)立板于所述分選工位處均開(kāi)設(shè)有兩并排設(shè)置的第一凹槽，各所述第二側(cè)立板于所述分選工位處均開(kāi)設(shè)有與兩所述第一凹槽相對(duì)應(yīng)的兩第二凹槽，各所述交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)的一端設(shè)于對(duì)應(yīng)的所述第一凹槽內(nèi)和所述第二凹槽內(nèi)，所述傳輸線提升機(jī)的輸出端安裝于所述底板上且可沿豎直方向升降所述底板。

具體地，所述第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)包括第一底座、第一支撐板、第二支撐板、兩所述第一交叉?zhèn)鬏旀溡约暗谝唤徊骝?qū)動(dòng)電機(jī)，所述第一支撐板和所述第二支撐板分別立設(shè)于所述第一底座的兩端，所述第一交叉驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于所述第一底座上且位于所述第一支撐板和所述第二支撐板之間，所述第二支撐板包括安裝于所述第一底座上的第一支架以及垂直連接于所述第一支架的第一延伸板，所述第一延伸板伸出至所述第一底座的外部，兩所述第一交叉?zhèn)鬏旀湻謩e安裝于所述第一支撐板和所述第一延伸板相對(duì)的兩側(cè)且均繞于所述第一交叉驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端，所述第一延伸板設(shè)于對(duì)應(yīng)的所述第一凹槽內(nèi)和所述第二凹槽內(nèi)，并且，所述第一延伸板平行于所述底板設(shè)置。