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[實(shí)用新型]硅片傳輸分選裝置有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201822174376.0 申請(qǐng)日: 2018-12-24
公開(公告)號(hào): CN209306450U 公開(公告)日: 2019-08-27
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 李峰;王迎松 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 深圳市聿知科技有限公司
主分類號(hào): B65G47/46 分類號(hào): B65G47/46
代理公司: 深圳壹舟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44331 代理人: 寇闖
地址: 518000 廣東省深圳市羅*** 國省代碼: 廣東;44
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 傳輸機(jī)構(gòu) 分選 傳輸鏈 晶體硅片 傳輸 分選裝置 硅片傳輸 工位 傳輸線 提升機(jī) 豎直 半導(dǎo)體制造技術(shù) 本實(shí)用新型 輸出端連接 多路傳輸 下移 轉(zhuǎn)運(yùn)
【權(quán)利要求書】:

1.一種硅片傳輸分選裝置,其特征在于:包括兩來料傳輸機(jī)構(gòu)、第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)、多個(gè)沿硅片傳輸方向并排設(shè)置的第二交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)、分選傳輸機(jī)構(gòu)以及傳輸線提升機(jī),所述傳輸線提升機(jī)的輸出端連接于所述分選傳輸機(jī)構(gòu)且可沿豎直方向升降移動(dòng)所述分選傳輸機(jī)構(gòu),所述分選傳輸機(jī)構(gòu)包括平行且間隔設(shè)置的兩分選傳輸鏈,兩所述分選傳輸鏈均具有多個(gè)位置對(duì)應(yīng)的分選工位,所述第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)包括平行且間隔設(shè)置的兩第一交叉?zhèn)鬏旀湥龅谝唤徊鎮(zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)的兩所述第一交叉?zhèn)鬏旀溤O(shè)于其中一所述分選工位處且位于所述分選傳輸鏈的一側(cè),所述第一交叉?zhèn)鬏旀湹膫鬏敹嗣娓哂谒龇诌x傳輸鏈的傳輸端面,兩所述來料傳輸機(jī)構(gòu)分別布設(shè)于所述第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)的相對(duì)兩端,各所述第二交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)均包括平行且間隔設(shè)置的兩第二交叉?zhèn)鬏旀湥魉龅诙徊鎮(zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)的兩所述第二交叉?zhèn)鬏旀湻謩e設(shè)于剩余的所述分選工位處且均位于所述分選傳輸鏈的另一側(cè),各所述第二交叉?zhèn)鬏旀湹膫鬏敹嗣婢陀谒龇诌x傳輸鏈的傳輸端面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片傳輸分選裝置,其特征在于:所述分選傳輸機(jī)構(gòu)包括底板、多個(gè)第一側(cè)立板、多個(gè)與所述第一側(cè)立板相對(duì)應(yīng)的第二側(cè)立板、兩所述分選傳輸鏈以及分選驅(qū)動(dòng)電機(jī),各所述第一側(cè)立板沿垂直于硅片傳輸方向間隔地立設(shè)于所述底板上,各所述第二側(cè)立板平行于對(duì)應(yīng)所述第一側(cè)立板且立設(shè)所述底板上,其中一所述分選傳輸鏈安裝于各所述第一側(cè)立板上且繞于所述分選驅(qū)動(dòng)電機(jī)的第一輸出端,另一所述分選傳輸鏈安裝于各所述第二側(cè)立板上且繞于所述分選驅(qū)動(dòng)電機(jī)的第二傳輸端,各所述第一側(cè)立板于所述分選工位處均開設(shè)有兩并排設(shè)置的第一凹槽,各所述第二側(cè)立板于所述分選工位處均開設(shè)有與兩所述第一凹槽相對(duì)應(yīng)的兩第二凹槽,各所述交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)的一端設(shè)于對(duì)應(yīng)的所述第一凹槽內(nèi)和所述第二凹槽內(nèi),所述傳輸線提升機(jī)的輸出端安裝于所述底板上且可沿豎直方向升降所述底板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片傳輸分選裝置,其特征在于:所述第一交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)包括第一底座、第一支撐板、第二支撐板、兩所述第一交叉?zhèn)鬏旀溡约暗谝唤徊骝?qū)動(dòng)電機(jī),所述第一支撐板和所述第二支撐板分別立設(shè)于所述第一底座的兩端,所述第一交叉驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于所述第一底座上且位于所述第一支撐板和所述第二支撐板之間,所述第二支撐板包括安裝于所述第一底座上的第一支架以及垂直連接于所述第一支架的第一延伸板,所述第一延伸板伸出至所述第一底座的外部,兩所述第一交叉?zhèn)鬏旀湻謩e安裝于所述第一支撐板和所述第一延伸板相對(duì)的兩側(cè)且均繞于所述第一交叉驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端,所述第一延伸板設(shè)于對(duì)應(yīng)的所述第一凹槽內(nèi)和所述第二凹槽內(nèi),并且,所述第一延伸板平行于所述底板設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片傳輸分選裝置,其特征在于:所述第一交叉?zhèn)鬏旀湴ǘ鄠€(gè)第一交叉輥軸以及兩平行設(shè)置的第一交叉?zhèn)鬏斊В魉龅谝唤徊孑佪S每兩個(gè)一組對(duì)稱地設(shè)于所述第一支撐板的相對(duì)兩側(cè)、設(shè)于所述第一延伸板的相對(duì)兩側(cè)以及設(shè)于所述第一交叉驅(qū)動(dòng)電機(jī)的相對(duì)兩側(cè)上,兩所述第一交叉?zhèn)鬏斊Х謩e依次繞于所述第一側(cè)立板相對(duì)兩側(cè)、所述第一延伸板相對(duì)兩側(cè)以及所述第一交叉電機(jī)相對(duì)兩側(cè)上對(duì)應(yīng)的各所述第一交叉輥軸。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片傳輸分選裝置,其特征在于:各所述第二交叉?zhèn)鬏敊C(jī)構(gòu)均包括第二底座、第三支撐板、第四支撐板、兩所述第二交叉?zhèn)鬏旀溡约暗诙徊骝?qū)動(dòng)電機(jī),所述第三支撐板和所述第四支撐板分別立設(shè)于所述第二底座的兩端,所述第二交叉驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝于所述第二底座上且位于所述第三支撐板和所述第四支撐板之間,所述第四支撐板包括安裝于所述第二底座上的第二支架以及垂直連接于所述第二支架的第二延伸板,所述第二延伸板伸出至所述第二底座的外部,兩所述第二交叉?zhèn)鬏旀湻謩e安裝于所述第三支撐板和所述第二延伸板相對(duì)的兩側(cè)且均繞于所述第二交叉驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端,所述第二延伸板設(shè)于對(duì)應(yīng)的所述第一凹槽內(nèi)和所述第二凹槽內(nèi),并且,所述第二延伸板平行于所述底板設(shè)置。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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