[實用新型]一種半導(dǎo)體器件烘烤專用花籃

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201822172054.2
• 申請日: 2018-12-24
• 公開（公告）號: CN209312733U
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 史麗萍;徐長坡;陳澄;李亞哲;王曉捧;張偉建;李豆;張雅楠;王曉偉;梁效峰;楊玉聰;魏文博
• 申請（專利權(quán)）人: 天津環(huán)鑫科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

本實用新型提供一種半導(dǎo)體器件烘烤專用花籃，包括端板組件、連接組件和支撐組件，所述連接組件、所述支撐組件的兩端分別與所述端板組件連接，所述連接組件、所述支撐組件與所述端板組件的連接點構(gòu)成半圓形結(jié)構(gòu)，所述半圓形與待插硅片同圓心；所述連接組件與所述端板組件的連接點位于所述半圓形直徑的兩端；所述支撐組件與所述端板組件的連接點對稱設(shè)置，該連接點在所述半圓形切線夾角為90°。與現(xiàn)有技術(shù)對比，本實用新型優(yōu)化了花籃的結(jié)構(gòu)，最大限度地降低了花籃的整體重量，高溫烘烤時堅固不易變形，且易于硅片識別，使連接桿和支撐桿的壽命延長，節(jié)約了生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于半導(dǎo)體器件工裝領(lǐng)域，尤其是涉及一種半導(dǎo)體器件烘烤專用花籃。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，在挖槽前需要對硅片雙面通過絲網(wǎng)印刷工藝印刷一層保護膠，以便為后續(xù)溝槽腐蝕做準(zhǔn)備，保護不腐蝕區(qū)域，避免溝槽腐蝕時腐蝕掉不應(yīng)該腐蝕的地方，對需要保護的部分印刷上保護層，之后需要對印刷后的硅片進行烘烤，保證保護膠的附著性。

本公司申請的公開號為CN207398098U的實用新型專利，公開了一種圓形硅片裝載裝置，該裝置的兩側(cè)吊裝板之間設(shè)置有六根帶有片槽的槽棍，在兩側(cè)吊裝板設(shè)置兩處吊鉤狀吊裝口，同時留有導(dǎo)水口。該結(jié)構(gòu)已在生產(chǎn)上投入使用，主要用于酸洗，材質(zhì)是PVDF，該結(jié)構(gòu)的花籃雖然耐酸性，但是卻不耐高溫易變形，不能放入烘箱進行烘烤，同時，該花籃與插片機及高溫爐的位置識別傳感器配合不好。若該結(jié)構(gòu)直接用不銹鋼材質(zhì)替代，首先，不僅花籃整體質(zhì)量重，而且槽棍位置設(shè)置不合理，未能根據(jù)圓型硅片的外形特點最優(yōu)化地分布設(shè)置槽棍的位置。其次，與插片機、烘干爐配合時，不能與插片機、烘干爐上的位置識別傳感器配合；同時，在收片時亦無法實現(xiàn)方向標(biāo)識，以區(qū)分不同類型的硅片。再次，槽棍單側(cè)面設(shè)置的片槽一但損壞就需要把整個槽棍更換，重復(fù)利用率較低，成本較高。最后，槽棍上的片槽若出現(xiàn)位錯時，極易導(dǎo)致硅片在水平置入或取出花籃時發(fā)生碎片或劃傷硅片表面，無法及時找出位錯位置點，識別度低，需要浪費很大的時間和精力來尋找片槽位錯所在處，生產(chǎn)成本高。

因此，有必要對現(xiàn)有半導(dǎo)體器件所用的花籃予以改進，以解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型提供了一種半導(dǎo)體器件烘烤專用花籃，解決了現(xiàn)有花籃易變形、整體質(zhì)量重、不易于方向識別、利用率低、生產(chǎn)成本高的問題。本結(jié)構(gòu)設(shè)計合理、便于硅片識別、易于更換帶有插片槽的連接桿和支撐桿，堅固且最大限度地降低花籃的整體重量。

本實用新型的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

一種半導(dǎo)體器件烘烤專用花籃，包括端板組件、連接組件和支撐組件，所述連接組件、所述支撐組件的兩端分別與所述端板組件連接，所述連接組件、所述支撐組件與所述端板組件的連接點構(gòu)成半圓形結(jié)構(gòu)，所述半圓形與待插硅片同圓心；所述連接組件與所述端板組件的連接點位于所述半圓形直徑的兩端；所述支撐組件與所述端板組件的連接點對稱設(shè)置，該連接點在所述半圓形切線夾角為90°。

進一步的，在所述端板組件的其中一個端板內(nèi)壁遠(yuǎn)離所述支撐組件的一端垂直對稱設(shè)置兩個短圓柱，且所述短圓柱內(nèi)側(cè)壁之間的寬度大于所述連接組件外側(cè)壁之間的距離。

進一步的，所述連接組件與所述支撐組件上均至少設(shè)有兩組插片槽，所述插片槽整圈設(shè)置在所述連接組件與所述支撐組件的外圓，且相鄰兩組之間設(shè)有空白的間隔段；所述連接組件、所述支撐組件與所述端板組件相連的兩端均設(shè)有一段空白的連接段。

進一步的，所述間隔段與所述連接段上均設(shè)有刻度線。

進一步的，所述端板組件遠(yuǎn)離所述支撐組件的一邊設(shè)有U型凹槽，所述凹槽側(cè)邊對稱設(shè)置兩個抓取孔。

進一步的，在所述凹槽下部位于所述半圓形圓心位置，橫向設(shè)有一長圓形通孔，所述凹槽與所述長圓形通孔之間的區(qū)域為所述花籃在高溫鏈?zhǔn)綘t皮帶上移動的位置識別區(qū)。