[實用新型]一種12管高產能PECVD設備

有效

• 申請號: 201822156366.4
• 申請日: 2018-12-21
• 公開（公告）號: CN209537623U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 崔慧敏;林罡;王鵬
• 申請（專利權）人: 無錫華源晶電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513
• 代理公司: 無錫嘉馳知識產權代理事務所(普通合伙) 32388
• 代理人: 盛際豐

本實用新型公開了一種12管高產能PECVD設備，包括氣源柜、主機和工作臺框架，氣源柜的右側與主機的左側固定連接，主機的右側與工作臺框架表面的一側固定連接，工作臺框架的頂部固定連接有加熱爐體，加熱爐體的表面活動連接有真空爐門機構，加熱爐體的表面固定連接有自動控制系統，本實用新型涉及太陽能電池技術領域。該12管高產能PECVD設備，通過加熱爐體、自動送取料系統和推拉舟使得載有待鍍膜晶片的石墨舟傳送給上下料機械手，通過這個全自動機械手的精準定位，把石墨舟放到每管對應的推拉舟上，然后再由推拉舟送入工藝管內，晶片在工藝管內，通過密封爐門機構和真空系統，達到所需要的工藝真空度，然后通入工藝氣體。

技術領域

本發明涉及太陽能電池技術領域，具體為一種12管高產能PECVD設備。

背景技術

PECVD是指等離子體增強化學的氣相沉積法，是太陽能電池片中比較重要的工序，也是體現一個企業太陽能電池片效率的一個重要指標。鍍膜技術是整個光伏行業比較重視的技術，太陽能電池的效率提升可以通過鍍膜技術的提升來實現。光在硅表面的反射損失率高達35%左右，減反膜可以極高地提高電池片對太陽光的利用率，提高光電轉換效率。

PECVD 是指等離子體增強化學的氣相沉積法，是太陽能電池片中比較重要的工序，現在的設備生產狀態下，原先的設備量已經無法滿足產能的需求。而通過增加設備數量來提高產能，又會帶來占地面積的問題，并且大多數電池片生產廠家的設備用地已經達到飽和，在這種情況下，提高設備本身的產能就成了迫切的需求。

發明內容

針對現有技術的不足，本發明提供了一種12管高產能PECVD設備，解決了原先設備量已經無法滿足產能需求的問題。

為實現以上目的，本發明通過以下技術方案予以實現：一種12管高產能PECVD設備12管高產能PECVD設備，包括氣源柜、主機和工作臺框架，所述氣源柜的右側與主機的左側固定連接，所述主機的右側與工作臺框架表面的一側固定連接，所述工作臺框架的頂部固定連接有加熱爐體，所述加熱爐體的表面活動連接有真空爐門機構，所述加熱爐體的表面固定連接有自動控制系統，所述加熱爐體內壁的底部固定連接有工作臺，所述加熱爐體內壁底部的兩側均活動連接有自動送取料系統，所述加熱爐體的內部活動連接有推拉舟，所述加熱爐體內壁的一側固定連接有間歇臺，所述加熱爐體內壁的一側活動連接有上下料機械手。

優選的，所述推拉舟包括外框，所述外框內壁的兩側均固定連接有滑動軌道板，所述滑動軌道板的內表面活動連接有滾動輪。

優選的，所述滾動輪的表面固定連接有限位環板，所述滾動輪的軸心處固定連接有移動桿。

優選的，所述移動桿的底部活動連接有支撐板，所述移動桿的表面活動連接有穩定塊，所述穩定塊的內部安裝有驅動設備。

優選的，所述穩定塊的頂部通過旋轉軸轉動連接有推拉臂，所述推拉臂的一端固定連接有接觸塊。

優選的，所述加熱爐體內部工作時保持工藝氣體內的壓力恒定在需求數值。

有益效果

本發明提供了一種12管高產能PECVD設備。與現有技術相比具備以下有益效果：